Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9188281 à vendre en France
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ID: 9188281
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Etcher, 12"
Process: Poly
2006 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura DPS G5 est un réacteur de dépôt à couches minces conçu pour la production en grand volume de dispositifs de technologies avancées. C'est un outil de pointe pour le dépôt de couches minces, telles que du silicium polycristallin, de l'oxyde de silicium et d'autres oxydes métalliques, ainsi que des couches de diélectrique et de passivation. Le G5 est une plate-forme de dépôt physique en phase vapeur (DPBV) à pression atmosphérique, à deux plateaux, linéaire, qui utilise une technologie unique à deux chambres, permettant des dépôts précis et répétables. L'équipement dispose d'une technologie à source unique avec un système de distribution de gaz à large gamme, permettant la production polyvalente de matériaux à couches minces. Les deux chambres de la chambre G5 sont équipées d'obturateurs automatisés, ce qui permet une excellente uniformité dans les deux conditions de chambre et aussi un traitement plus efficace des matériaux. Le G5 possède également une fonction unique de piège à froid en attente de brevet, captant les contaminants du substrat pendant le dépôt et permettant une production plus propre et plus efficace de matériaux à couches minces. La commande automatique à haute résolution de l'obturateur G5 permet une exposition synchronisée de plusieurs plaquettes aux mêmes conditions de dépôt. Cela garantit une répétabilité et une uniformité inégalées des processus. De plus, le G5 est capable d'un cyclage thermique rapide, permettant un traitement plus rapide des films et moins d'étapes de re-dépôt. Il en résulte un débit plus élevé et un coût de propriété plus faible. Le G5 dispose également d'une unité de verrouillage de précision, permettant un chargement et un déchargement rapides des plaquettes, ainsi qu'un excellent débit. Avec une alimentation en courant alternatif, la machine a la puissance d'atteindre et de maintenir rapidement les températures. L'outil est également équipé d'un réseau de radiofréquences de faible puissance, permettant de traiter les couches minces à haute densité et d'éliminer la contamination due aux particules en vol. AMAT Centura DPS G5 est un réacteur avancé et performant capable de produire des films minces de haute qualité. Grâce à sa répétabilité inégalée, à son homogénéité et à son traitement efficace des matériaux, le G5 est le réacteur de choix pour la production en grande quantité de matériaux avancés pour les appareils de nouvelle génération.
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