Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9352797 à vendre en France
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ID: 9352797
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
Etcher, 12"
Mesa
(3) Poly chambers
Axiom chamber
2011 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DPS G5 est un équipement de traitement thermique à haute performance utilisé pour le dépôt et la gravure de structures en couches minces. Le réacteur est conçu pour des applications où la variabilité, l'uniformité et la répétabilité du procédé sont des facteurs essentiels de succès. Le G5 utilise des technologies éprouvées pour fournir des résultats précis, reproductibles et fiables. Le réacteur AMAT Centura DPS G5 est conçu pour comporter un régulateur de température avec des nominateurs de température numériques pour chaque chambre et un répartiteur thermique à coeur spécial multi-zone, protégé par le gaz et pouvant fonctionner jusqu'à 1200 ° C Des pompes à haut rendement et une distribution uniforme des gravures fournissent des conditions de processus fiables nécessaires à la répétabilité des procédés et à des rendements élevés. Le réacteur est équipé d'une fonction Auto-Clean qui réduit la maintenance grâce à des procédures de nettoyage automatisées. L'uniformité des dépôts et des gravures de pointe de l'industrie est obtenue grâce à une optique d'uniformité élevée pour chaque chambre à plasma, ce qui empêche les non-uniformités dues à la distribution asymétrique du plasma des résultats des processus de dérapage. Chaque chambre de procédé est équipée d'un bouclier Faraday classique ou de parois magnétiquement blindées pour maximiser l'uniformité de gravure. Le système de distribution de mélange en chambres transversales est conçu pour fournir des gaz de procédé hautement reproductibles afin d'assurer des géométries de dépôt reproductibles. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DPS G5 fonctionne à faible bruit pour toutes les opérations de traitement et maintient une enveloppe étroite de température de fonctionnement afin de maintenir au minimum les particules et contaminants émis. Le réacteur est conçu avec la sécurité en tête, avec une unité d'entrée et de sortie d'un gaz qui est conçue pour contenir des gaz explosifs, un bouton d'arrêt d'urgence, une vanne d'arrêt d'urgence rapide pour arrêter instantanément la machine si une condition de processus hors contrôle est détectée, et un outil de fusion de température pour éviter la surchauffe. Le réacteur Centura DPS G5 est un choix idéal pour les applications de traitement thermique de pointe qui nécessitent précision et fiabilité. Le réacteur est capable de fournir d'excellents résultats de traitement grâce à ses caractéristiques de haute performance, ce qui en fait le choix idéal pour tout traitement thermique avancé.
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