Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379816 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura DPS G5 est un réacteur de pointe destiné au dépôt, à la gravure et à l'implantation d'une grande variété de matériaux. Il offre un design modulaire robuste construit sur la dernière technologie de lithographie et de gravure. Ce réacteur de pointe est bien adapté au traitement des semi-conducteurs. Le DPS G5 est encadré autour d'un volume interne tubulaire, qui contient la chambre et les gaz de procédé. La chambre dispose d'un ensemble de rotors haute vitesse équipé d'une gamme de choix de faisceaux ioniques. Cette caractéristique présente dans le DPS G5 aide à cibler le matériau avec l'implantation de plasma et/ou d'ions, ce qui diminue la consommation d'énergie. La gamme des faisceaux d'ions comprend des ions oxygène et des ions azote, qui sont capables d'implanter ces matériaux dans des substrats pour une large gamme d'applications, telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le DPS G5 dispose d'un certain nombre de modules de contrôle de processus intégrés dans le système. Il s'agit notamment d'une chambre de précipitation à cycle fermé, de plusieurs pompes à vide et d'un régulateur automatisé de débit massique. Avec ces systèmes de commande interne, le DPS G5 est en mesure de réguler précisément le débit massique, la pression et la température des gaz de procédé tout en obtenant un contrôle et une répétabilité optimaux. Le réacteur est capable de fournir un taux élevé de performances et un débit élevé. Le DPS G5 dispose de plusieurs diagnostics insitus, tels que la spectroscopie, la mesure des paramètres du processus et le contrôle du plasma. Ce diagnostic insitu couple avec un contrôle automatisé de processus embarqué pour une manipulation précise de la surface du substrat. AMAT Centura DPS G5 est également conçu pour faciliter l'entretien. Le réacteur contient plusieurs outils et modules de remplacement rapide, ce qui facilite la maintenance régulière, comme le remplacement des filtres et des couteaux. Performant, le DPS G5 est capable de graver, de déposer et d'implanter une grande variété de matériaux, notamment des métaux, des céramiques, des plastiques et divers matériaux semi-conducteurs. Il est capable de réaliser des procédés à haute température et pression, ainsi que dans des conditions de vide ultra-élevé. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS G5 est un excellent choix pour une large gamme d'applications de traitement de matériaux.