Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379820 à vendre en France
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ID: 9379820
Taille de la plaquette: 12"
Etcher, 12"
(3) Mesa chambers
Axiom chamber.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura DPS G5 est un réacteur haute performance conçu pour maximiser la productivité et réduire les coûts. Il s'agit d'une plaque unique, haute productivité, équipement en ligne qui utilise la technologie Dual Plasma Source (DPS). Le système est basé sur la source de plasma à double fréquence, pilotée par RF, qui est capable de générer des plasmas à haute densité à des pressions et des températures élevées. La technologie DPS aide à créer différentes distributions de profils de gaz du plasma sur la plaquette. L'unité d'injection à double gaz aide à assurer l'uniformité et le battage, augmentant l'uniformité de gravure sur la plaquette. La machine dispose également d'un outil intégré de surveillance et de contrôle du plasma qui aide à maintenir un profil cohérent. Le réacteur est également conçu avec une architecture modulaire, ce qui lui permet d'être configuré et reconfiguré pour répondre à différentes exigences de processus. Cette conception modulaire permet également de réduire les temps d'arrêt et d'accélérer le développement des processus. Le réacteur dispose également d'un large éventail de capacités de traitement, allant des procédés à basse pression aux procédés à forte puissance. Sa conception modulaire permet également de multiples configurations et options de processus, ce qui en fait un outil idéal pour la production et le développement. AMAT Centura DPS G5 est un outil idéal pour des applications avancées qui nécessitent une grande précision, un débit élevé et une uniformité à travers la plaquette.
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