Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379822 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DPS G5 est un outil de traitement de haute puissance utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable de gravure à grande vitesse et de dépôt de matériaux sur des substrats, ce qui le rend idéal pour produire des caractéristiques extrêmement complexes. Le réacteur G5 est un réacteur hybride à double faisceau à source de plasma direct (DPS) qui combine une source de plasma à couplage inductif (ICP) avec une source de plasma à couplage capacitif à excitation hyperfréquence (CCP). Le G5 est équipé d'un puissant générateur hyperfréquence fournissant jusqu'à 5 kW d'énergie. Le faisceau hyperfréquence est alors focalisé sur le substrat, créant un plasma avec une énergie ionique et une granulométrie très uniformes. Cette uniformité est importante pour assurer la cohérence des résultats des gravures et des dépôts. L'architecture DPS du réacteur G5 assure en outre un plasma hyperfréquence stable et précis. Le G5 dispose également d'une large gamme de fonctions de contrôle des gaz pour assurer un environnement de traitement idéal pour la gravure et le dépôt. Les gaz utilisés dans le G5 comprennent NF3, O2, Ar, O2/N2 et H2. En contrôlant soigneusement l'écoulement de ces gaz, le G5 produit des gravures et des dépôts de qualité supérieure à celle qui pourrait être obtenue par les procédés traditionnels. Le réacteur G5 dispose également d'une variété de dispositifs de sûreté avancés, tels qu'un système d'arrêt micro-ondes automatisé, sans panne, afin d'assurer une sécurité et une fiabilité de fonctionnement maximales. Il est également conçu pour minimiser la contamination par les sous-produits du procédé, améliorant encore les rendements et la qualité des produits. En conclusion, AMAT Centura DPS G5 Reactor est un outil puissant et fiable qui est bien adapté à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Avec son architecture DPS à double faisceau, une large gamme de fonctions de contrôle des gaz et de nombreux systèmes de sécurité, le G5 est l'un des premiers réacteurs sur le marché de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.