Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS I #9116831 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS I est un réacteur monocouche conçu pour des procédés de diffusion et d'oxydation à haute performance utilisés pour des applications semi-conductrices à basse température et des dispositifs. Le réacteur utilise un équipement innovant de distribution de gaz à double perméabilité pour assurer une homogénéité optimale, un transport massique total et un contrôle précis des paramètres du procédé. La plateforme a été créée dans le but de simplifier la charge de travail tout en maintenant les rendements souhaités. L'enceinte du réacteur AMAT Centura DPS I et le système de chambre sont construits en acier inoxydable sans contact électrique avec les composants essentiels du procédé. Les dimensions de l'unité centura mesurent une largeur totale de 950 mm, une hauteur totale de 796 mm et une profondeur totale de 959 mm. La taille totale de la chambre intérieure des matériaux appliqués Centura DPS I est d'un diamètre de 505 mm et d'une longueur de 610 mm. La chambre du réacteur mesure 560 ° C et 6 x 10-4 Torr. La capacité de charge totale de la machine est de 20 kg y compris la cassette de wafer et l'uniformité de charge maximale est ± 0,3 ° C Centura DPS I est conçu pour optimiser la commodité de l'utilisateur avec des fonctionnalités telles que le transport de masse double tête de douche, la fonction zone configurable, les modes avancés de purge des gaz, le logiciel Process Manager, la maintenance facile de traitement et le moniteur de processus sous vide. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DPS I est équipé de l'outil de transport de masse à double tête de douche en attente de brevet, qui fournit des flux de gaz contrôlés séparément à chaque tête de douche pendant le fonctionnement du réacteur Centura. Cet actif de flux de gaz deux en un permet d'uniformiser le processus en assurant un transport massique total de gaz réactif exactement contrôlé et égal à chaque tête de douche descendante. Le réacteur AMAT Centura DPS I a également une fonction de zone configurable qui améliore encore les programmes de processus en permettant aux opérateurs d'établir jusqu'à trois zones de flux de gaz distinctes avec affichage numérique de la température, du débit et de la pression de chaque zone distincte. Les modes avancés de purge des gaz permettent une précision, une réduction du temps de purge et une meilleure consistance thermique. Le logiciel Process Manager rend le contrôle des interfaces utilisateur plus facile et intuitif, permettant la création et la manipulation de recettes sans nécessité de recodage. Le moniteur de processus sous vide s'assure que les résultats du processus sont cohérents en utilisant un générateur avancé pour mesurer le vide tout au long du processus avec une surveillance en temps réel. De plus, la maintenance facile du traitement et ses diagnostics à bord permettent aux opérateurs de diagnostiquer et de dépanner le problème du réacteur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS I est un puissant réacteur monobloc conçu pour des procédés de diffusion et d'oxydation de haute précision pour des applications semi-conductrices et dispositifs à basse température. Avec son modèle de distribution de gaz à double perméabilité, sa fonction zone configurable et ses modes avancés de purge des gaz, le réacteur DPS I de Centura est capable de fournir des paramètres de processus précisément contrôlés et uniformes, maximisant la commodité et les rendements des utilisateurs.