Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ I #9116833 à vendre en France
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MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura DPS + I est un réacteur conçu pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un équipement de traitement thermique à haute température et ultra-haute dépression qui permet la fabrication de petits dispositifs semi-conducteurs performants. Le système est conçu pour fournir un traitement Ultra-High Vacuum (UHV) et une capacité de chauffage uniforme. AMAT Centura DPS + I est une unité de traitement thermique à haute température et à très haut vide spécialement conçue pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un outil standard de l'industrie pour les technologies de procédé avancées. Il offre une solution pour le ramassage rapide des températures, le dépôt de couches ultra minces, le refoulement et le frittage des matériaux en couches minces, et le traitement thermique des nanostructures et des nanodévices. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS + I possède une architecture de poutres transversales avec deux chambres de processus, une chambre de verrouillage de charge et une chambre de refroidissement séparée. Cette architecture permet un traitement thermique optimisé. La chambre de serrure offre une flexibilité de processus et un débit de machine amélioré. Les chambres de procédé sont scellées sous vide et peuvent atteindre des températures de 0,1 mbar. Cette plage de température basse est importante pour le traitement de matériaux moins sensibles à la chaleur tels que des couches ultra-minces, en particulier lorsqu'il s'agit de structures nanométriques. Centura DPS + I est configuré avec un outil de mesure du faisceau d'électrons (EBEAM) qui assure la surveillance des processus in situ en temps réel. Cela permet un meilleur contrôle et une meilleure connexion des paramètres de processus, tout en fournissant des informations détaillées sur l'acquisition et le traitement des données. L'actif offre également des fonctionnalités telles que le suivi de la température, le ramassage rapide de la température, le réglage du profil de pression pour un traitement optimal du plasma, le contrôle automatisé des processus et l'intégration flexible des processus. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura DPS + I est conçu avec des caractéristiques de sécurité pour protéger l'intégrité des utilisateurs et des modèles. Cela comprend les processus qui protègent contre l'accumulation de gaz, la fourniture d'un moniteur de température et le maintien de niveaux de température appropriés pour un fonctionnement sécuritaire. De plus, l'équipement est équipé de dispositifs de protection, tels qu'une soupape de sécurité de surpression, des soupapes d'équilibrage de fin de chambre et des leviers de réglage de puissance. Dans l'ensemble, AMAT Centura DPS + I est un système polyvalent et fiable qui peut fournir un traitement thermique efficace pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Cette unité offre des performances fiables, un contrôle précis des processus et un débit de machine amélioré, permettant aux clients d'obtenir des rendements élevés et d'améliorer les performances des appareils.
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