Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly AE Mesa #293656597 à vendre en France

ID: 293656597
Taille de la plaquette: 12"
System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly AE Mesa est un réacteur de pointe utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs pour déposer des films polymériques de haute qualité sur des plaquettes. En tant que composante essentielle des procédés de fabrication avancés, ce réacteur joue un rôle crucial dans la production de microélectroniques et de divers dispositifs électroniques. Le réacteur AMAT Centura DPS II Poly AE Mesa dispose d'une conception avancée avec plusieurs modules spécialisés qui permettent un contrôle précis du processus de dépôt. Le réacteur est équipé d'un équipement sophistiqué de distribution de gaz, qui permet l'introduction d'une large gamme de précurseurs et de gaz réactifs nécessaires au dépôt de films polymériques. Le système de distribution de gaz est conçu pour assurer une répartition uniforme des gaz sur la surface de la plaquette, ce qui conduit à une grande qualité de film et reproductibilité. Une des caractéristiques clés du réacteur Poly AE Mesa Centura DPS II est sa configuration Mesa, qui fait référence à la conception unique de la chambre en forme de dôme. La conception de la chambre Mesa est optimisée pour améliorer la dynamique des flux de gaz et assurer un transport efficace des réactifs vers la surface de la plaquette. Cette fonction de conception permet de minimiser les défauts du film et d'améliorer l'uniformité du film, ce qui conduit à des rendements de processus plus élevés et à une meilleure performance du dispositif. Le réacteur est équipé d'une unité de chauffage à haute température capable de chauffer la plaquette à des températures élevées nécessaires au processus de dépôt. La machine de régulation de température assure une homogénéité de température précise sur la plaquette, ce qui conduit à des propriétés et des performances de film cohérentes. De plus, le réacteur est équipé d'un outil de refroidissement pour étancher rapidement la température de la plaquette après dépôt, prévenir la dégradation du film et assurer une formation de film de haute qualité. Le réacteur Centura DPS II Poly AE Mesa possède également une capacité CVD (PECVD) sophistiquée, qui permet le dépôt de films polymériques sous activation plasmatique. La source de plasma génère des espèces très réactives qui contribuent à la polymérisation des gaz précurseurs, conduisant à des propriétés pelliculaires améliorées telles qu'une meilleure adhérence, densité et résistance mécanique. La capacité PECVD permet le dépôt d'un large éventail de matériaux polymériques, y compris les silicones, le silicium polycristallin et divers diélectriques à faible intensité. En outre, le réacteur est équipé d'un outil avancé de contrôle des processus qui surveille et ajuste les paramètres clés du processus en temps réel afin d'assurer un contrôle optimal de la qualité et de l'épaisseur du film. Le modèle de contrôle des processus comprend des algorithmes logiciels avancés qui permettent la gestion des recettes, l'enregistrement des données et les capacités de surveillance à distance. Cet équipement aide les opérateurs à obtenir un contrôle de processus serré et des propriétés de film cohérentes sur plusieurs plaquettes. En conclusion, le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly AE Mesa est un outil très avancé et polyvalent pour le dépôt de films polymériques dans des procédés de fabrication de semi-conducteurs. Avec ses caractéristiques de conception innovantes, ses capacités de contrôle précises et sa technologie CVD améliorée par plasma à haute performance, ce réacteur est essentiel pour obtenir des appareils électroniques de haute qualité et de haute performance dans l'industrie des semi-conducteurs exigeante d'aujourd'hui.
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