Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9189889 à vendre en France
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ID: 9189889
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Poly etcher, 12"
(4) Chambers:
(3) DPS II
Poly
Axiom
Chamber configuration:
Chamber A:
Chamber model: DPS II
Bias generator: AE APEX 1513, 13.56 MHz, Maximum 1500 W
Bias match: AE, 13.56 MHz,3 kV navigat
Source generator: AE APEX 3013, 13.56 MHz, Maximum 3000 W
Source match: AE, 13.56 MHz,6kV navigat
Lid: Ceramic lid, dual gas nozzle
Turbo pump: EDWARDS STP-A3003CV
Throttle valve: VAT pendulum valve DN-320
FRC: MKS FRCA-52163310, 500/500 1/4VCR
ESC: Dual zone ceramic ESC
Endpoint type: EyeD IEP
Cathode chiller: SMC POU
Wall chiller: SMC INR-496-016C
Process kits coating: Anodize coating
Cooling: HT 200 / FC 40
Chamber B:
Cathode chiller: SMC POU
Chamber C:
Cathode chiller: SMC POU
Wall chiller: SMC INR-496-016C
Chamber D:
Chamber model: AXIOM
Source generator: 5000 W
Source match: AE match (RF System)
Throttle valve: Throttling gate valve
ESC: Pedestal heater
Mainframe configuration:
IPUP Type: ALCATEL A100L
Gas panel type: Standard
VHP Robot: Dual blade
MF PC type: CPCI
Factory interface configuration:
Frontend PC type: 306 Server
FIC PC type: 306 Server
(3) Load ports
Atmospheric robot: KAWASAKI Single fixed robot (A3 Type)
Side storage: Right / Left side
MFC Configuration
Chamber A:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 DSLGD1XM
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber B:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 AALGD40W1
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber C:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 AALGD40W1
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber D:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 5 N2 1000 DSSGD1XM
Gas 7 4%H2/N2 5000 DSVGD1XM
Gas 8 O2 10000 DSVGD1XM
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II est un équipement de réacteurs de procédé avancé qui peut être utilisé pour réaliser divers procédés pour la production d'une large gamme de produits allant de l'électronique grand public et des composants automobiles aux pièces aérospatiales et aux dispositifs médicaux. Le système est conçu pour fournir des capacités de traitement flexibles et fiables, permettant une gestion cohérente et efficace des cycles de production. AMAT Centura DPS II utilise des matériaux de haute qualité, tels que l'acier inoxydable, pour assurer une longue durée de vie. Il est composé de 5 composants principaux qui sont la chambre du réacteur, la coupelle d'alimentation, la coupelle d'outils, le dispositif de contrôle du débit d'échappement et l'unité de commande d'entraînement. La chambre du réacteur est conçue pour fournir un environnement et une température optimaux pour les réactions chimiques, ainsi que pour fournir une atmosphère inerte pour protéger contre les vapeurs corrosives. La tasse d'alimentation est équipée d'une machine d'alimentation qui est utilisée pour introduire des matières premières dans l'outil de transformation. La coupe-outil est utilisée pour loger des outils de précision et des accessoires, qui sont nécessaires à la réussite des processus. Le dispositif de contrôle du débit d'échappement est chargé de contrôler la quantité de gaz et de vapeur libérée de la chambre du réacteur, en veillant à ce qu'elle soit maintenue à un niveau de sécurité. Enfin, l'outil de commande d'entraínement est utilisé pour réguler la vitesse de déplacement du réacteur et assurer un contrôle précis de la température. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA DPS + II contient également de nombreuses caractéristiques de sécurité qui protègent les opérateurs et le modèle lui-même. Ces dispositifs de sécurité comprennent un interrupteur d'arrêt d'urgence, un équipement de surveillance de la pression, un système de surveillance de l'oxygène et une unité de surveillance des gaz inertes. En outre, le logiciel de la machine est capable d'afficher des diagnostics détaillés qui aident à identifier rapidement les défauts ou les risques qui peuvent survenir pendant le fonctionnement. Au total, AMAT CENTURA DPS + II est un outil avancé et fiable capable de réaliser une variété de procédés pour la production de produits. Sa conception robuste et ses caractéristiques de sécurité complètes en font un choix idéal pour toute installation de fabrication.
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