Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9223550 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS II est un réacteur de diffusion chimique avancé qui peut être utilisé pour une large gamme de procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce réacteur multifonctionnel offre un moyen très efficace et programmable d'obtenir des résultats de haute qualité. Il est conçu pour des substrats de taille 100 mm, 110 mm, 200 mm et 300 mm. AMAT Centura DPS II dispose d'un équipement avancé de livraison de gaz avec des zones de dilution linéaires doubles pour la livraison de produits chimiques. Ce système peut fournir un contrôle de concentration de haute précision et de faible niveau de plusieurs mélanges de gaz pour permettre un contrôle précis du procédé. Avec cette unité de pointe, les utilisateurs peuvent facilement ajuster les niveaux de concentration pour diverses chimies de processus afin de maximiser les rendements de processus et d'assurer la cohérence entre les lots de production. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA DPS + II a un environnement thermique étroitement contrôlé avec des bains de chauffage/refroidissement qui permettent un contrôle optimal de la température et une uniformité pour les produits chimiques de procédé. Sa machine de régulation de température est conçue pour gérer les vitesses instantanées de variation de température allant jusqu'à 30 ° C/s sans affecter la stabilité du processus ou le contrôle du temps. En outre, cet outil offre également une chambre d'évacuation avancée refroidie à l'eau pour une contrainte minimale (température/pression) sur la plaquette. Centura DPS II dispose en outre d'un puissant actif de chauffage intégré du substrat qui est conçu avec un modèle de contrôle en boucle fermée pour un contrôle précis et stable de la température. Son équipement de chauffage fonctionne avec des températures allant jusqu'à 900 ° C avec une stabilité de température ± 1 ° C Ce système de chauffage avancé assure une température uniforme de la plaquette sur toute la surface de la plaquette pour des résultats cohérents. AMAT CENTURA DPS + II dispose également d'une unité de bullage à quatre zones pour le refroidissement et la trempe des produits chimiques. Cette machine permet un contrôle de température facile et stable pour une large gamme de procédés chimiques en assurant un contrôle de température précis de l'ensemble de la chambre de bullage. Enfin, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS II est livré avec des outils de diagnostic et d'optimisation des processus embarqués. Cet outil assure le suivi en temps réel des données de processus et l'inspection pour s'assurer que le processus de diffusion est maintenu à des niveaux optimaux. En outre, il offre également des paramètres d'optimisation des processus qui permettent aux utilisateurs d'obtenir la meilleure performance possible de leur processus.