Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9260903 à vendre en France

ID: 9260903
Taille de la plaquette: 12"
Poly etchers, 12" (4) Chambers.
AMAT (MATÉRIAUX APPLIQUÉS) AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS II est un équipement de dépôt de base utilisé pour le dépôt de couches minces dans diverses industries, y compris l'électronique et la fabrication de capteurs. L'unité de traitement DPS II est conçue pour être un outil de dépôt très adaptable et efficace pour une variété de substrats, tels que le silicium, l'oxyde, le nitrure et les plaquettes métalliques. Il s'agit d'un réacteur de dépôt autonome à ultra-haut vide (UHV) avec alimentation électrique intégrée et distribution de gaz. Le système UHV offre une qualité répétable pour tous les types de dépôts, avec une large gamme de tailles cibles. L'unité est équipée d'une étape de positionnement de précision, ainsi que d'une machine de livraison robotique avancée, pour une livraison précise et précise des plaquettes. Les chambres de procédés internes contiennent des cathodes à double magnétron pour assurer un dépôt homogène des films. Le maillage à double magnétron favorise une répartition homogène du matériau, tandis que la détection à plusieurs niveaux garantit que le procédé est conforme aux spécifications et paramètres souhaités. Le DPS II dispose d'un outil de contrôle d'exploitation dynamique, qui fournit un contrôle manuel et automatisé des processus. Cet atout permet aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster efficacement les paramètres de fonctionnement, tels que la température, la puissance, la pression, le débit de gaz et le temps de réaction en temps réel. Le modèle dispose également d'une technologie adaptative, qui peut répondre automatiquement aux changements dans les paramètres de processus au fur et à mesure qu'ils se produisent. Le DPS II intègre également un microscope optique à haute résolution, permettant une inspection visuelle du processus de dépôt. Ce microscope peut capturer à la fois les particules et le mouvement du matériau déposé avec des images à haute résolution. Le microscope comporte également un rétroéclairage, qui révèle les défauts éventuels du dépôt lors de l'observation. Le DPS II dispose d'une large gamme de chambres dédiées aux procédés, y compris la pulvérisation par faisceau d'ions, le dépôt de couche atomique, le dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) amélioré par plasma et l'évaporation du faisceau d'électrons. Cet équipement complet d'empilement de plaques ajoute à la polyvalence du système de dépôt, permettant le traitement par lots de multiples empilements de différents types de substrats. Dans l'ensemble, AMAT Centura DPS II est un outil de dépôt flexible de haute qualité pour diverses applications, y compris la fabrication d'appareils électroniques, de capteurs et d'optoélectroniques. Ses caractéristiques intégrées et sa stabilité de dépôt supérieure en font une solution idéale tant pour la R&D que pour la production de produits électroniques et de capteurs sophistiqués.
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