Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS R1 #9188286 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS R1 est un équipement polyvalent et compact de dépôt sous vide monobloc. Grâce à sa conception à accès rapide, il peut être configuré comme un système idéal pour de nombreux processus de dépôt. Il assure le transfert des plaquettes au sein d'une même grappe, sans avoir besoin de navette substrat entre les couches. Les procédés de dépôt autorisés par l'unité sont des procédés simples et séquentiels à base de PVD, ALD, sputter, oxydation et silicium amorphe. La machine DPS R1 est conçue pour économiser le mouvement, piloter le mouvement logiciel, fournir un temps de disponibilité et maximiser le débit. Il est chargé de diagnostics et d'automatismes de processus à cycle complet qui surveillent tous les composants dans un dépôt, ce qui donne des processus reproductibles et fiables qui aident à améliorer les rendements. AMAT Centura DPS R1 est conçu pour les films diélectriques, métalliques et passivants, ainsi que pour les films déposés ou gravés à pression réduite ou augmentée. Cela aide à contrôler la contrainte du substrat et à graver la sélectivité. L'outil est entièrement intégré et comprend un bocal en quartz, un actif sous vide, un loadlock et une automatisation de transfert de plaquettes. Le logiciel intégré est une interface utilisateur graphique intuitive alimentée par le logiciel AMAT Genesis. Ce logiciel fournit un examen inégalé des données en temps réel et l'utilisation des diagnostics intelligents pour rationaliser le processus de débogage. Il fournit également des données d'interface faciles à interpréter et peut gérer des tâches répétitives rapidement. De plus, l'interface utilisateur graphique intuitive offre une approche guidée et optimise le processus de dépôt. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura DPS R1 est accouplé à la technologie des tours intelligentes, ce qui contribue à réduire les temps d'arrêt et les coûts d'entretien. Avec jusqu'à trois modules de processus intégrés dans un modèle unique, il réduit le temps de configuration des outils et les dépenses en capital. La conception économe en énergie aide également à fournir un ROI amélioré. En résumé, Centura DPS R1 est un équipement de dépôt sous vide monobloc économique et performant, offrant une livraison rapide de processus reproductibles de façon cohérente avec une interface utilisateur graphique facile à utiliser pour le traitement des données en temps réel. Avec sa conception simplifiée et ses caractéristiques puissantes, il est bien adapté aux procédés de dépôt dans l'industrie des semi-conducteurs.