Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #293603772 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DPS (Deposition Process Equipment) est un outil avancé de fabrication de semi-conducteurs utilisé dans le dépôt de couches minces utilisées dans divers semi-conducteurs et autres produits électroniques. Le système est utilisé pour déposer des films minces de haute qualité sur des plaquettes et d'autres substrats avec une excellente couverture conforme. Pour ce faire, on délivre à la surface du substrat une chimie de gaz de procédé à un débit et une pression spécifiques. La capacité de contrôler le flux gazeux de l'unité assure que la forme correcte du flux gazeux est maintenue tout au long du processus, ce qui se traduit par un dépôt homogène. Le procédé de dépôt utilise une paire de magnétrons pour le dépôt. La plaquette et le porte-substrat se déplacent à l'unisson sur les axes x-y-z, la plaquette étant maintenue en place par un mandrin à vide pour une température stable de la plaquette. La plaquette est ensuite exposée au gaz de procédé qui réagit pour former le film désiré. Le réacteur AMAT Centura DPS est conçu avec des systèmes d'alimentation en énergie, en gaz et en fluide qui permettent de contrôler avec précision les paramètres du processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DPS atteint un haut degré de répétabilité au sein d'un lot, tout en fournissant un environnement stable pour atteindre une qualité de film désirée. La machine automatisée de contrôle de la qualité (CQA) de l'unité surveille le substrat tout au long du processus de dépôt. Pour ce faire, on mesure les caractéristiques de la plaquette, telles que la réflectivité, le recouvrement, l'épaisseur et la rugosité de surface. L'AQC offre également des avantages supplémentaires, tels que l'optimisation automatique des processus, le contrôle de la tension du film et l'inspection et la classification automatiques des défauts. Le réacteur DPS Centura présente un certain nombre d'avantages par rapport aux autres systèmes de dépôt. Cela comprend la capacité de traiter une gamme de matériaux, tels que les matières organiques et inorganiques, et d'utiliser la plaquette elle-même pour la surveillance in situ et l'optimisation des processus. En outre, le réacteur peut être utilisé pour le dépôt de différents types de films, tels que les métaux, les diélectriques et les isolants, ainsi qu'une gamme de dimensions géométriques. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur DPS Centura est un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs et d'autres produits électroniques.