Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #293607518 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS + est une chambre de procédé à haute performance et à réaction thermique développée pour le dépôt de dispositifs avancés IC et MEMS. Utilisant une innovation unique dans le processus LEAN, l'équipement DPS + utilise une combinaison d'activation plasma, de gravure ionique réactive (RIE) et de modules de processus unifiés avec des capacités de processus de faible puissance et des contrôleurs directs qui permettent un contrôle précis de la chimie et des paramètres du processus. Son outil intégré utilise la technologie exclusive AMAT SmartScan. Cela automatise l'optimisation des processus et les ajustements rapides des paramètres pour tenir compte de la variabilité de substrat à substrat et de chambre à chambre, ce qui permet d'obtenir des résultats de processus plus reproductibles. La technologie ULPT permet des températures aussi basses que 20 ° C Cette chambre est donc idéale pour le dépôt de matériaux diélectriques fragiles de faible k. En plus de son uniformité supérieure, l'APC (Advanced Process Control) améliore encore la répétabilité et la reproductibilité du procédé. L'APC intégré dispose d'un algorithme de dérivé intégral proportionnel (PID) haute performance qui surveille et ajuste activement l'environnement de travail pour assurer la pureté du processus, la robustesse et d'autres spécifications souhaitées par couche. L'unité mesure environ 41 m de large x 5,1 m de haut x 6 m de profondeur et est conforme à la norme ISO 5. Il s'agit d'une machine de pointe pour le dépôt de films de compression et de traction comprenant des couches diélectriques à haut k, des couches barrières et des couches métalliques, organiques et de métallisation organique. L'outil offre également des capacités de profilage supérieures pour le contrôle avancé de la morphologie des films. Il comprend une conception avancée de 8 chambres, ainsi que des composants supplémentaires tels qu'un chauffage, un réservoir à quartz, une tête de douche et un RTP chauffé (gravure aux ions réactifs). L'actif est également équipé d'un modèle de sécurité complet qui assure une sécurité maximale de l'environnement de travail. Il est doté de dispositifs de sécurité étendus tels que des protections latérales, une cage anti-soufflage, une alarme de processus et une vanne d'arrêt d'urgence automatisée. Le DPS + fonctionne avec un logiciel 3D dédié à APPLIED MATERIALS, qui permet une intégration efficace des processus 3D pour la fabrication avancée d'appareils. Dans l'ensemble, AMAT Centura DPS + est une chambre de procédé de réaction thermique avancée pour la production d'IC et de MEMS à haute performance. Sa combinaison de procédés de faible puissance, de contrôleurs directs, de modules de traitement unifiés et de technologie SmartScan lui confère d'innombrables avantages par rapport aux autres réacteurs thermiques. De plus, son équipement de sécurité et sa technologie ULPT assurent la sécurité et la répétabilité des processus, tandis que sa conception à 8 chambres permet l'intégration des processus 3D.