Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #293608987 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura DPS + est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) monobloc conçu pour réaliser des procédés de dépôt en couches minces pour la production en grand volume de dispositifs avancés tels que le MEMS et d'autres matériaux microscaliques et nanométriques. Il est composé de quatre composants principaux : une chambre de traitement, un équipement de distribution de gaz, un système de vide et une unité de commande. La chambre de traitement est le composant central de l'AMAT Centura DPS + et est en acier inoxydable, en alliages d'aluminium et en céramique. Il comprend une entrée de gaz, un orifice d'échappement, un étage de wafer et plusieurs ports de visualisation de quartz pour la surveillance des procédés. L'étage de plaquette est conçu pour supporter la plaquette pendant le traitement et dispose de positionneurs avec des systèmes de purge à l'azote pour réduire la contamination. La machine de distribution de gaz fournit les gaz réactifs nécessaires à la chambre de traitement et se compose de blocs collecteurs, de filtres à pression, de régulateurs de débit massique et d'un outil à température contrôlée. L'actif sous vide est responsable de l'évacuation de la chambre de traitement et se compose d'une pompe à rugosité et d'une pompe mécanique à aubes rotatives. Le modèle de contrôle permet un contrôle précis de tous les paramètres du procédé, y compris la température, les débits de gaz, la pression du réacteur et la température de la plaquette. Il comprend également un équipement d'enregistrement des données pour la surveillance et l'enregistrement des données de processus au fil du temps. Le système est entièrement automatisé, permettant une configuration rapide, la mise en œuvre des produits et la surveillance des processus. En résumé, APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + est un outil CVD monobloc fiable et robuste conçu pour permettre la production d'appareils avancés avec des résultats cohérents de haute qualité. L'unité permet un contrôle précis des paramètres essentiels du processus, et sa machine de contrôle en boucle fermée assure un haut niveau de stabilité et de répétabilité du processus.