Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9093380 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS
ID: 9093380
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Poly etcher, 8", 1997 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS est un réacteur de traitement par voie humide à plusieurs chambres unique pour la prochaine génération de fabrication et de développement technologique. Ce réacteur est équipé de plusieurs chambres, offrant une solution innovante et flexible aux défis de traitement. Le réacteur offre une combinaison idéale de débit élevé, de retournement de processus rapide et de contrôle de processus superbe. Le réacteur AMAT Centura DPS est une combinaison de plusieurs chambres équipées de capacités de dépôt et de gravure. Cela permet l'intégration de plusieurs étapes de processus dans un réacteur. Il est idéal pour les systèmes deux par deux, où deux procédés de dépôt peuvent être réalisés dans une chambre, avec deux procédés de gravure effectués dans une autre chambre. Cela permet une production rapide tout au long et la flexibilité pour ajuster les paramètres du processus à la volée. Le réacteur présente plusieurs caractéristiques pour un meilleur contrôle, une facilité de fonctionnement et de maintenance. Il dispose d'une chambre à vide en céramique composite, avec des bras robotiques de haute fidélité et un système de commande de mouvement multi-axes. La conception de la chambre à vide offre une gestion thermique supérieure et un meilleur contrôle des processus, tandis que les bras robotiques et le contrôle de mouvement multi-axes offrent une excellente manipulation des plaquettes et le contrôle des processus. D'autres caractéristiques telles que le générateur RF haute performance et la spectroscopie optique d'émission assurent une uniformité et une répétabilité supérieures du processus. Le réacteur a la capacité de traiter de grands substrats avec des temps de traitement allant jusqu'à minutes. Il peut également traiter des substrats plus petits en une fraction de ce temps. Ceci est dû à sa conception très efficace de la chambre de traitement et à son système de distribution de puissance RF optimisé. Il est adapté aux applications de production et de recherche et développement à faible volume. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DPS est un outil polyvalent et puissant pour les chercheurs et les fabricants. Il offre un excellent contrôle du procédé avec un débit élevé, des taux de dépôt constants et une gestion thermique supérieure. Il fournit une solution flexible qui peut gérer un large éventail de tâches de processus. Le réacteur est idéal pour la production et la recherche et le développement à haut volume, et est très efficace, rapide et fiable.
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