Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9096236 à vendre en France
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ID: 9096236
Taille de la plaquette: 1997
Poly system
(2) Chamber
Currently installed
1997 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DPS est l'un des meilleurs et des plus fiables outils disponibles pour les dépôts chimiques en phase vapeur (CVD) et les dépôts de couche atomique (ALD). Il s'agit d'un équipement de procédé avancé conçu pour la production à grande échelle qui permet aux utilisateurs de développer des films avancés avec des propriétés et des performances supérieures. La chambre de réaction CVD du système AMAT Centura DPS est construite en acier inoxydable et se compose de deux tubes de procédé en quartz montés côte à côte et verticalement. Les deux tubes sont entourés d'un environnement sous vide et ont une surface totale de processus allant jusqu'à 8,9 litres. Une unité de four standard est utilisée pour s'assurer que la température à l'intérieur de la chambre de procédé est maintenue avec précision. Chacun des deux tubes de procédé contient un suscepteur multi-zone qui est incorporé dans le tube à quartz. Le suscepteur peut être contrôlé individuellement pour déterminer le profil de température de l'ensemble de la course. La distribution de gaz pour MATÉRIAUX APPLIQUÉS La machine Centura DPS est gérée par un outil de distribution de gaz multi-zones à fibres optiques qui assure l'uniformité en permettant à chaque zone son propre débit. L'actif comprend également une surveillance intégrée des dépôts et un contrôle de la température, de la pression et des flux de gaz. Cela permet une plus grande précision lors de la fabrication et contribue à optimiser l'uniformité. De plus, Centura DPS utilise une interface numérique pour permettre la gestion à distance des paramètres, des modèles et des recettes. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS L'équipement Centura DPS est un outil robuste et fiable pour produire des films de haute qualité avec des propriétés et des performances supérieures. Grâce à la conception soigneuse et à l'utilisation de technologies avancées, AMAT Centura DPS permet aux utilisateurs de produire avec précision des films avec une excellente uniformité et des performances reproductibles. Ce système est un choix idéal pour ceux qui cherchent à développer des films de nouvelle génération avec des performances supérieures.
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