Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9192739 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS est un réacteur avancé à bande sèche à plasma utilisé dans les opérations de gravure dans les industries des semi-conducteurs et de la microélectronique. Il s'agit d'une version nouvelle génération de l'outil Centura Wafer Etch, offrant un débit plus élevé et une plus grande précision que son prédécesseur. Le DPS est adapté à une large gamme de matériaux, y compris le silicium, le silicium polycristallin, le nitrure de silicium, l'oxyde de silicium et l'aluminium. AMAT Centura DPS est un équipement de bande sèche haute performance et à haut débit capable d'effectuer des opérations de gravure de précision avec un haut degré d'automatisation. Le système intègre une technologie plasma de pointe, ainsi qu'une chambre de mélange multi-gaz, pour minimiser les dommages causés par les rayonnements ionisants potentiellement nocifs. Le DPS supporte une gamme de gaz, y compris l'hydrogène, l'oxygène, l'azote et d'autres gaz inertes, selon le matériau traité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS est conçu pour des opérations de gravure rapides et efficaces. Il commence par un cycle de pré-traitement impliquant un traitement de flux qui applique un film mince d'oxyde pour une sélectivité améliorée en oxyde d'oxyde. Un deuxième cycle est utilisé pour graver l'oxyde jusqu'à la profondeur cible. Les nombreuses caractéristiques de Centura DPS, telles que sa source de plasma à couplage capacitif (CCP) et son procédé de strippage rapide, permettent des temps de gravure inférieurs à 5 secondes. Ce cycle de gravure court permet d'améliorer la productivité et les rendements des produits. L'unité fournit également une variété de fonctions de contrôle de processus. Cela inclut une machine de surveillance en temps réel basée sur l'analyse de la forme d'onde qui permet un contrôle précis du processus de gravure. Cela permet de détecter et de corriger automatiquement les éventuels problèmes de processus, améliorant ainsi la fiabilité. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura DPS est un outil idéal pour les fabricants de semi-conducteurs qui recherchent un traitement précis des bandes sèches. Avec ses systèmes de contrôle avancés, ses temps de cycle rapides et ses rendements améliorés par rapport à l'outil Centura Wafer Etch précédent, AMAT Centura DPS est le choix idéal pour toute opération de gravure.