Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9193142 à vendre en France
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Vendu
ID: 9193142
Poly R1 chamber
DTCU Type: R1 DTCU
Wafer type: SNNF
ESC Type: Polymide
Standard:
Throttle valve
Gate valve
Cathode: Single type
Turbo pump: LEYBOLD Mag 2000
Dual manometer: 627A / 625 A
Missing Parts:
Match box
H/V Module
Turbo controller.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura DPS est une gravure ionique réactive (RIE) et un équipement de dépôt qui est utilisé dans la fabrication de circuits intégrés (IC) et de nombreux autres types de dispositifs semi-conducteurs. AMAT Centura DPS est conçu pour fournir des performances supérieures, la sécurité des travailleurs, et la facilité d'utilisation pour la production de IC à haut volume. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS est conçu pour le dépôt ou la gravure de nombreux matériaux utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, des métaux aux matières organiques. Elle utilise une combinaison de plusieurs gaz de procédé, introduits dans une chambre de procédé, pour obtenir une gravure ou un dépôt de ces matériaux de haute qualité. Les gaz de procédé comprennent l'oxygène, l'azote, l'argon, l'hélium et/ou le chlorure d'hydrogène. La chambre de procédé comprend une électrode supérieure alimentée, une table de substrat mobile et une turbomachine utilisée pour évacuer la chambre. Une source de plasma située à l'intérieur de la chambre est utilisée pour générer les ions nécessaires à la gravure ou au dépôt du matériau. Centura DPS est capable de fournir des résultats de gravure et de dépôt uniformes sur toute la surface de la plaquette, quelle que soit sa taille. Il est également capable de fonctionner sur une large gamme de pressions, de températures, de niveaux de puissance et de cycles de temporisation afin d'obtenir les résultats de gravure ou de dépôt souhaités. En outre, la chambre est conçue pour aider à maintenir l'environnement propre et sécuritaire pour les travailleurs, car la diffusion et la contamination du gaz sont réduites au minimum. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS utilise également un certain nombre de garanties pour protéger les travailleurs contre l'exposition à des substances dangereuses. Son système de verrouillage à plusieurs niveaux permet de s'assurer que les recettes de processus automatisées respectent leurs paramètres, minimisant le risque de contamination des produits et l'exposition des travailleurs aux substances dangereuses. L'unité comprend également une machine de surveillance interne qui utilise des capteurs et des systèmes de caméras pour enregistrer les données de traitement et assurer la sécurité des travailleurs et de l'équipement. AMAT Centura DPS est un outil extrêmement populaire et fiable pour la production d'IC. Sa capacité à fournir des résultats de gravure et de dépôt supérieurs et son haut niveau de sécurité en font un choix idéal pour la réalisation de circuits intégrés de haute qualité.
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