Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9233293 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9233293
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
Poly etcher, 8"
Mainframe: Centura Phase2
Chamber A, B & C:
DTCU: ES-DTCU
Gate & throttle valve: TGV, VAT
EDWARDS STP-A2203 Turbo pump
Pumping tube: Heated
ADVANCED ENERGY Altas 2012 Generator (Source)
ENI ACG-6B Generator (Bias)
ESC: Ceramic
EPD: IEP
Chamber F: Orieter
Xfer: HP Robot
L/L: Narrow, heated, tilt-out
Hoist: Local hoist
Gas panel:
Chamber A & C:
Gas / Size / Model
HBr / 200sccm / 8160
Cl2 / 200sccm / 8160
Cl2 / 50sccm / 8160
SF6 / 50sccm / 8160
N2 / 20sccm / 8160
Ar / 200sccm / 8160
CF4 / 100sccm / 8161
He / 20sccm / 8160
O2 / 100sccm / 8161C
Chamber B:
Gas / Size / Model
HBr / 200sccm / 8160
Cl2 / 200sccm / 8161C
Cl2 / 50sccm / 8160
SF6 / 50sccm / 8160
N2 / 20sccm / 8160
Ar / 200sccm / 8160
CF4 / 100sccm / 8161C
He / 20sccm / 8160
O2 / 100sccm / 8161C
Missing parts: Process chamber chiller & hose
1999 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura DPS + est un réacteur de pointe utilisé pour réaliser divers procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'une suite de produits de dépôt diélectrique qui fournit un dépôt rapide et précis de films diélectriques pour une large gamme d'applications de dispositifs semi-conducteurs. L'équipement est capable de réaliser des couches passivées sur une variété de substrats tels que silicium, quartz, verre, polyimide et autres surfaces. AMAT Centura DPS + a une taille de champ maximale de 25 pouces carrés, avec une capacité de dose minimale de 1 microampère. Ses réacteurs ont une configuration rotative à quatre quadrants qui assure un traitement uniforme de tous les substrats. Le système est également équipé d'une source de pulvérisation rapide capable d'atteindre des taux d'adoption allant jusqu'à 1 nm/s. Cela aide à donner à l'unité des capacités de haut débit. La machine dispose également d'un contrôle thermique avancé pour obtenir un contrôle précis de la température pour les processus de dépôt, ce qui donne un résultat plus uniforme et cohérent. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA DPS + dispose également d'une suite de fonctions de nettoyage à base chimique et de pré-nettoyage, permettant un traitement efficace des plaquettes. Il est également livré avec un écran tactile qui permet une surveillance en temps réel de divers paramètres pendant le cycle de traitement. L'outil est conforme à diverses normes de protocole telles que UNI-Core, SEMI et GCR. Il a également une certification ISO-9002 et fonctionne à un niveau de classe II salle blanche, assurant des résultats cohérents et fiables cycle de traitement intime. Le Centura est construit avec un cadre en acier inoxydable robuste et très résistant à la corrosion, qui garantit une longue durée de vie d'un fonctionnement fiable dans l'environnement le plus dur. Dans l'ensemble, CENTURA DPS + est un réacteur robuste et fiable, conçu pour fournir un haut débit et un contrôle précis sur une variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est adapté à la fois pour la recherche et les applications industrielles, offrant une température précise et un contrôle chimique sur le procédé. Avec ses spécifications impressionnantes, le Centura est l'un des meilleurs outils pour créer des appareils de haute qualité et fiables.
Il n'y a pas encore de critiques