Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9249569 à vendre en France

ID: 9249569
Poly etcher Load lock: Wide (3) Chambers DPS+ poly Robot: VHP+.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS + est un réacteur avancé de gravure de plasma conçu pour effectuer à la fois une gravure anisotrope profonde et des processus isotrope peu profonds avec une sélectivité élevée et des dommages minimes aux couches sous-jacentes. Il est équipé d'un équipement de télécommande automatisé qui rend le fonctionnement rapide et efficace. Le réacteur est basé sur la technologie de gravure AMATSi (Advanced Materials Atomic Thickness Selection) et comprend un large choix de gaz de procédé pour fournir des résultats optimisés pour diverses applications. Sa conception unique « multi-rembourrage » crée une pression uniforme sur l'ensemble de la chambre de processus, ce qui permet un contrôle serré des processus, une uniformité et une répétabilité améliorées, et des économies de rendement et de coûts plus importantes. AMAT Centura DPS + peut être configuré pour le traitement PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) et PEB (Plasma Enhanced Graching). Le traitement PECVD est utilisé pour faire pousser des couches minces de métal et d'autres matériaux sur un substrat tel qu'une plaquette de PCB ou de silicium. Le traitement PEB est utilisé pour enlever ces films et graver les matériaux sous-jacents tels que le métal et les diélectriques. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA DPS + est construit selon une approche multi-étapes et peut traiter des plaquettes aussi grandes que 8 pouces en une seule course. La chambre du réacteur est conçue pour accueillir des systèmes de distribution de gaz et des contrôleurs de processus personnalisés, permettant aux utilisateurs d'adapter leur procédé aux spécifications de leur application. AMAT CENTURA DPS + est alimenté par une alimentation avancée de douzième génération, permettant une densité de plasma plus élevée et une meilleure uniformité du processus de gravure. Le système est également équipé d'une unité de vide avancée pour l'évacuation rapide des déchets de procédé et des espèces organiques. En outre, la machine peut être utilisée pour surveiller et analyser le processus en temps réel, ce qui permet aux utilisateurs de faire les ajustements nécessaires au processus rapidement et facilement. CENTURA DPS + est un outil puissant et avancé de réacteur de gravure, offrant des performances et une répétabilité supérieures. La conception complète et les fonctionnalités avancées en font une solution rentable pour les applications de gravure dans une gamme d'industries.
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