Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9251498 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura DPS + est un four de diffusion monobloc horizontal polyvalent et de pointe, doté d'un système de chargement rapide des plaquettes. Il est conçu spécialement pour la production à haut débit de multiples types de dispositifs semi-conducteurs fabriqués par implantation ionique, oxydation thermique, dépôt de nitrures et autres procédés. AMAT Centura DPS + a une excellente uniformité et consistance, avec des températures de plaquettes allant jusqu'à 1000 ° C, selon les applications. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA DPS + dispose d'une large gamme de capacités de contrôle des processus, y compris le chauffage et le refroidissement à plusieurs zones, le contrôle de la température des chambres, le contrôle du vide, le contrôle du débit de gaz et le contrôle indépendant des zones chaudes individuelles. Pour garantir des processus précis et reproductibles, les zones chaudes et les régions thermiques peuvent être calibrées à l'aide de recettes spécifiques au site et les zones de pression peuvent être contrôlées indépendamment avec des capteurs de pression. Les processus sont contrôlés à l'aide de divers instruments d'analyse tels que les thermocouples, y compris la recherche de plaquettes et le diagnostic par ordinateur. Le four est capable de déplacer 100 plaquettes par heure avec un transfert de capacité de transfert, une alimentation d'entrée haute puissance de capacités de 200V, 8KW, et de purge automatisée du flux de gaz. Le système de contrôle des gaz comprend du gaz inerte pour la purge et le remblayage, ainsi que des capteurs de débit de gaz pour surveiller et contrôler les espèces mélangées de gaz. CENTURA DPS + est équipé de ports de visualisation multiples et de transfert automatisé de wafer en fin d'exécution. Il fournit également une plate-forme de montage de plaquettes bas kV pour activer, ou graver un masque pour une utilisation dans la gravure arrière, ainsi que des processus de gravure pré-nettoyés. Le four dispose d'un capteur de courbure de wafer On-Furnace (OWCS), qui permet une compensation de courbure pendant l'exécution et un processus complet de suivi de wafer. La vérification de la température d'exécution est effectuée à l'aide d'une fenêtre optique infrarouge située à l'avant de la chambre. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS + peut être configuré avec une gamme de fonctionnalités avancées d'automatisation, de surveillance et de contrôle, y compris des modules de processus avec métrologie in situ et des contrôles de qualité en fin d'exécution. Dans l'ensemble, AMAT CENTURA DPS + est un four de diffusion fiable, précis et économique qui offre des performances supérieures. C'est un choix idéal pour de multiples types d'applications de semi-conducteurs, car sa conception puissante et flexible garantit des résultats de haute précision.