Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9255765 à vendre en France
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ID: 9255765
Taille de la plaquette: 12"
System, 12"
(4) Chambers (With pumps)
(2) Wafer transfer modules
Front end
Electronics cabinet
Etch clean AC rack.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactor est un équipement avancé de traitement des semi-conducteurs conçu pour permettre une production rentable et fiable de produits de semi-conducteurs de nouvelle génération. Il dispose d'une chambre à vide, d'une table de substrat universelle, d'un verrou de chargement à cassette avant, d'un port de chargement automatisé et de contrôleurs de mouvement programmables, tous conçus pour rationaliser la production et réduire le temps d'utilisation. AMAT Centura DPS élimine la nécessité de charger manuellement les plaquettes et les substrats, réduisant ainsi l'exposition et la manipulation des produits chimiques dangereux qui font traditionnellement partie des procédés semi-conducteurs. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura DPS est configuré avec un robot unique de transfert de plaquettes 3 axes capable de positionner avec précision les substrats et composants dans la chambre active, ce qui permet un maximum de temps de mise à jour. Outre les chambres de procédés in situ, le système comprend des chambres de procédés à distance pour le pré-/post-traitement des substrats. L'unité intégrée de contrôle des processus permet une rétroaction en temps quasi réel, permettant d'obtenir et de maintenir avec précision des paramètres de traitement précis. Centura DPS est équipé d'une machine de mesure relative de projection à haute résolution qui garantit la précision et la répétabilité des processus sur plusieurs cycles. Cet outil d'imagerie sophistiqué fournit également une représentation couche par couche des caractéristiques des fonctionnalités pour vérifier les conditions et les résultats précis du processus. Capable de multiples modes de traitement, y compris la gravure sèche et humide, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactor offre une large fenêtre de traitement. En plus de la gravure, l'actif peut également être utilisé pour des applications de dépôt et de pelage. AMAT Centura DPS est conçu avec des fonctionnalités favorables à la maintenance, telles que des soupapes intelligentes avec des capacités de déconnexion rapide, permettant une maintenance plus facile et des temps d'arrêt plus courts. Le réacteur peut être configuré avec une variété de dimensions de chambre, offrant une flexibilité pour répondre aux besoins spécifiques de chaque application. La taille compacte des matériaux appliqués Centura DPS Reactor lui permet d'offrir des performances de haute qualité dans des espaces serrés, créant des opportunités pour les fabricants d'exploiter des systèmes où l'espace est de première qualité. Ce modèle robuste et fiable fournit des rendements élevés et une fabrication de qualité constante, permettant aux entreprises de maximiser leurs spécifications concurrentielles.
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