Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9314928 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Le Centura DPS est un équipement de réaction thermique rapide orienté processus utilisé pour diverses applications telles que le dépôt d'oxyde d'aluminium, le dépôt amorphe de silicium et d'autres procédés semi-conducteurs. Il dispose d'une chambre de réacteur en forme de U orientée horizontalement avec support de plaquette à l'intérieur. La chambre du réacteur s'appuie sur un système de chauffage radiant programmable pour assurer un contrôle précis de la température, permettant un flux d'énergie thermique précis et uniforme sur la surface de la plaquette. L'unité électrique est intégrée à un boîtier de contrôle de processus qui permet aux utilisateurs de contrôler et d'ajuster facilement des paramètres tels que le temps, la température et la pression d'oxygène. La machine est conçue pour fournir des résultats supérieurs en termes de traitement de réaction thermique non invasive à basse température. Sa technologie exclusive de réflecteur diffus permet un profil de température homogène sur la surface de la plaquette, permettant des dépôts à des températures aussi basses que 300 ° C, ce qui le rend extrêmement sûr pour les substrats sensibles tels que GaAs et SiGe. Ce traitement à basse température est idéal pour la croissance et le maintien de l'homogénéité des couches pour les circuits intégrés. En outre, l'outil comprend un atout optique intégré pour surveiller le processus de dépôt thermique, permettant aux utilisateurs de détecter rapidement toute irrégularité de dépôt. Le réacteur AMAT Centura DPS est capable d'effectuer un cycle thermique rapide de 15 secondes avec répétabilité et stabilité dans la gamme des nanomètres. Sa technologie brevetée de distribution thermique uniforme offre une excellente précision et répétabilité pour un large éventail de processus, fournissant des résultats supérieurs pour les systèmes délicats. Le modèle est également doté d'un ensemble de validations procédurales et d'outils de support technique pour garantir la qualité des résultats des processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DPS est un choix idéal pour les procédés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs, offrant des résultats supérieurs en termes de dépôt à basse température tout en conservant le plus haut degré de cohérence et de précision. Ses capacités de traitement à basse température permettent aux fabricants de réaliser des processus complexes tout en protégeant les substrats délicats, tandis que ses fonctions de surveillance et de contrôle permettent aux utilisateurs de détecter et d'ajuster les irrégularités rapidement et facilement.