Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9395287 à vendre en France
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ID: 9395287
Taille de la plaquette: 6"
Poly etcher, 6"
Mainframe:
Position A, B: DPS Plus poly
Position F: Orienter
Front panel: Anti-static painted
Signal light tower: 3 Color (R, A, G)
Type: AC Rack
Type: EMO Switch
EMO Guard ring
Flow sensor chamber:
Wall
Cathode
Turbo pump 4
DPS
Type: Wide body loadlock
Slit valve: O-Ring type (viton)
Wafer mapping: Enhanced (fast)
Type: HP and robot
Robot blade option
Wafer on blade detector: Basic
Vent filter: Ceramic
Heater
Loadlock vent: Top
Orienter chamber:
Type: Hoop
DTCU: ES
Voltage distributor
Mount ring
Lower chamber cover: STD
Type: Lip seal
EDWARDS TMP
Pressure gauge: CM 100 Mt (MKS)
Pressure gauge: CM 10 Torr (MKS)
ESC HV Module P/N: 0010-30139
BIAS RF Matcher P/N: 0010-00854
Source RF Matcher: Install
HE Pressure controller
Type: MKS649A (50 SCCM)
ATLAS 2012 Source RF Generator
ACG-6B RF Generator (BIAS)
Throttling Gate Valve (TGV)
EDWARDS TMP Etcher pump pipe line
With heater
Cathode assy type: HE Single supply
Upper chamber: Full A-coat
Ceramic dome P/N: 0200-39137
Gas panel:
MFC Type: AERA FC-D980C
Position / Gas / MFC Size
Gas 1, 11 / CL2 / 200 SCCM
Gas 2, 12 / HBR / 200 SCCM
Gas 6, 16 / CF4 / 200 SCCM
Gas 7, 17 / CHF3 / 100 SCCM
Gas 8, 18 / O2 / 100 SCCM
Gas 9, 19 / SF6 / 100 SCCM
Gas 10, 20 / AR / 200 SCCM
Gas panel facilities:
BD Side
SLD Box bottom feed
AC Chamber TOP side
VMEII Gas panel controller
VERIFLO Valve
MKS 872 Transducer
VERIFLO SQ2 Regulator
MILIPORE Filter
Transducer display per stick
CRT Endpoint monitor
Rack mount
Type: (2) Monochromators
Type: V452 SBC Controller
Umbilicles: 40 Feet base
Mainframe umbilical: 40 ft
AC Mainframe umbilical: 40 ft
Chiller control cable length: 40 ft
Chiller hose length: 50 ft
Pump signal cable length: 50 ft
RF RACK To MF Cable length: 75 ft
Type: SMC H2000 Chiller
Cathode (chamber A, B): SMC H2000
Wall (chamber A, B): SMC H2000
Dome (chamber A, B): Facility cooling water
Coolant Type: DI and EG
(2) Chiller power lines (Tool C/B Chiller)
Type: (4) Chiller hoses (50 Ft)
Signal I/O
EBARA AA40W / AA10
(4) Pump interfaces
(4) Pump power lines (Tool C/B Pump)
M/F Utility connection: Rear side
UPS
Lamp CB: 20 A
RF Generator CB: (B)15 A / (S)30 A
Pump CB: 30 A
CRT Monitor
Type: DTCU Hoist
Power supply: 200 - 208 VAC, 60 Hz, 100 mA.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS est un équipement intégré à haute performance pour les applications de fabrication industrielle à base de plasma. Il est conçu pour la production de dispositifs semi-conducteurs tels que des noeuds de technologie avancée, des écrans plats, des puces de mémoire d'ordinateur et des microprocesseurs. Le système dispose d'un mécanisme d'entraînement en ligne avec un loadlock de 6 zones et plusieurs effecteurs finaux intelligents, permettant un placement précis et reproductible du produit. Le réacteur est capable de traiter jusqu'à 25 plaquettes en parallèle avec des résultats répétables et reproductibles. L'unité comprend une machine de contrôle automatique des recettes avec des options de génération de recettes en temps réel, des fonctionnalités de sécurité avancées et du matériel propriétaire, permettant une flexibilité quasi illimitée dans la personnalisation des paramètres de traitement. Cela permet à l'outil d'être facilement adapté à l'évolution des besoins de production tels que de nouvelles conceptions de produits ou des changements de processus. AMAT Centura DPS peut traiter une variété de matériaux et de substrats avancés, y compris du silicium monocristallin pur, des métaux et des polymères. Il est capable de fournir une variété de procédés de dépôt et de gravure, tels que le traitement de la couche atomique, du faisceau d'électrons et du faisceau d'ions. L'actif dispose également de capacités d'analyse et de surveillance avancées, permettant une grande précision et répétabilité dans les processus de dépôt et de gravure, permettant des rendements élevés et une amélioration de la qualité du processus de production. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS est conçu pour répondre aux dernières étapes avancées du processus et est compatible avec les outils et technologies avancés d'automatisation des processus tels que l'auto-alignement, l'auto-réglage et la vision de la machine. Cela permet un traitement plus rapide et plus efficace tout en maintenant le plus haut niveau de qualité et de précision. La machine n'a pas de pièces mobiles, ce qui lui permet de fonctionner 24 x 7, d'optimiser les ressources et de réduire les temps d'arrêt au minimum. Le modèle Centura DPS est conforme aux normes européennes en matière de sécurité, de rapports et d'environnement, ce qui en fait un choix idéal pour les environnements industriels. En plus des avantages de traitement robuste et performant, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS est également facile à utiliser et à entretenir. Il dispose d'une interface conviviale, d'une formation du personnel sur place et d'un support de dépannage en temps réel, ce qui en fait l'un des outils de production les plus fiables et les plus rentables sur le marché.
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