Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9398745 à vendre en France
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ID: 9398745
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Metal etcher, 8"
Wafer type: SNNF
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy
CRT Screen
LLA/LLB: Wide body load lock with rotation
HP Robot
Chamber A: ASP+
Chamber C: Metal DPS R0
Chamber D: eMxP+
Chamber E: Single slot cool down
Chamber F: Orienter
Main AC rack
System controller rack
Power supply / Generator racks
Miscellaneous parts
Does not include:
Heat exchangers
Backing / Roughing pump
SSSCo PDS Solution
eMxP+ Process kit
eMxp+ ESC
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS (Dynamic Process Equipment) est un réacteur conçu pour traiter des plaquettes au sein d'une plate-forme économe en énergie et flexible, perfectionnée pour la fabrication de matériaux optoélectroniques, microélectroniques et hybrides. Le système offre un débit élevé avec de grands outils de cluster, pouvant traiter jusqu'à 28 plaquettes simultanément. Grâce à l'électronique de contrôle avancée, AMAT Centura DPS offre des performances répétables, précises et fiables avec des temps de cycle rapides. Il combine un design de chambre de réaction multiple et d'aspect élevé avec des parois en quartz positionnées de façon unique, assurant une uniformité dans toutes les zones de dépôt et une précision de procédé supérieure. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS offre une large gamme de capacités et de paramètres de processus, permettant aux clients d'obtenir les résultats nécessaires rapidement et efficacement. Le réacteur est constitué d'un collecteur à faible masse, à faible chaleur et à haut rendement qui délivre des gaz de procédé, ainsi que d'un projecteur à haut rendement pour un positionnement précis et reproductible des plaquettes. L'unité contient la technologie Programmable Logic Controller (PLC) pour le fonctionnement automatisé, interface graphique utilisateur avancée (GUI) pour la facilité d'utilisation, et recette intégrée et le stockage de tendance pour un maximum d'efficacité et de qualité. Centura DPS est compatible avec une variété de tailles et de matériaux de substrat et offre une excellente uniformité de substrat grâce à l'utilisation d'un contrôle de température uniforme. La machine comprend des capacités avancées d'automatisation et de contrôle, avec un programme personnalisable de nucléation et de démontage, ainsi qu'un outil de manutention automatisé de plaquettes multi-couches. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS offre un démarrage rapide et un environnement sans pollution. Dans l'ensemble, AMAT Centura DPS est un modèle très polyvalent qui convient bien à la fabrication de matériaux optoélectroniques, microélectroniques et hybrides de haute performance. L'équipement offre d'excellents niveaux de répétabilité, de précision et d'uniformité entre plaquettes, ce qui le rend idéal pour des applications de précision. Ce procédé avancé est conçu pour optimiser le débit, tout en minimisant le coût, la consommation d'énergie et le temps.
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