Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #114611 à vendre en France
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Vendu
ID: 114611
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
SACVD BPSG system, 8"
4 channel
SMIF (Jenoptik)
Wide body load locks
Manual lid hoist
HP Robot
CH A, B, C, D – SACVD DxZ
Aluminum heater
Direct drive throttle valve
PLIS (Doped)
AE RFG 2000-2V
Gasses (STEC MFCs)
O2 3 SLM
NF3 100 sccm
C2F6 1 SLM
O-zone 10 SLM
N2 5 SLM
He 3 SLM
TEOS
TEB
TEPO
Seriplex Gas Control
CH E – Multi slot cool down
Bottom feed exhaust
Facilities bottom feed
OTF Centerfind
Synergy 452
Radisys AMAT 486
1997 vintage
As-is, where-is.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DxZ est un équipement de dépôt à couches minces multi-zones utilisé pour la fabrication de circuits intégrés semi-conducteurs avancés. Le réacteur est conçu pour assurer un traitement des plaquettes à haut débit, une flexibilité de procédé et un haut niveau de précision. Le réacteur utilise quatre zones électriquement indépendantes pour fournir des performances de système supérieures et permettre la flexibilité du processus de la plaquette. Chacune des quatre zones contient un plasma à haute température couplé inductivement (PIC) provenant de la source plasmatique du PIC. La source PIC permet au réacteur de fonctionner à des températures de substrat allant jusqu'à 1000 ° C, ce qui permet le traitement de métaux et d'alliages à haute température. De plus, l'architecture à quatre zones permet d'implémenter plusieurs recettes de processus sur une seule plaquette. Par exemple, une seule plaquette pourrait comporter quatre couches différentes de matériaux différents, toutes traitées dans un même réacteur. Le réacteur AMAT Centura DxZ est équipé d'une unité de transport de plaquettes dotée d'un bras robotique à grande vitesse. Cette machine offre un débit, une précision et une disponibilité supérieures et permet au réacteur de traiter jusqu'à 180 plaquettes par heure. Le réacteur dispose également d'une gamme complète de systèmes de surveillance et de contrôle des processus, y compris le contrôle des logiciels, l'enregistrement des données et les affichages graphiques. Le logiciel permet aux utilisateurs de contrôler, surveiller et optimiser les performances du réacteur tout au long du processus. Le réacteur est construit pour une fiabilité et une répétabilité exceptionnelles. L'outil a été conçu pour répondre à des normes strictes en matière de sécurité et d'environnement, avec un niveau élevé de tolérance aux contaminants. De plus, le réacteur utilise un outil de contrôle de la qualité pour s'assurer que le procédé est reproductible et reproductible de façon fiable. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DxZ est l'un des réacteurs de dépôt en couches minces les plus avancés du marché et peut permettre un développement rapide et une production rentable de dispositifs semi-conducteurs de pointe. Avec son débit supérieur, sa flexibilité, sa fiabilité et sa précision, Centura DxZ Reactor est la solution idéale pour les fabricants de semi-conducteurs.
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