Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9046124 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9046124
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
(3) chamber CVD system, 8"
Specifications:
Platform type: Centura I Body
SBC Board: V452
Chamber Type:
Position A: DxZ Nitride
Position B: DxZ Nitride
Position C: DxZ Nitride
Position D: Blank
Position E: MULTI COOLDOWN
CH A: DxZ Chamber:
Baratron Guage: 10Torr / 1Torr
Match: AE 3155094-003A
Heater Lift: 0010-38426
RF Generator: RFG 2000-2V
EPD: 0500-01047
Heater Driver: 0190-09419
CH B: DxZ Chamber:
Baratron Guage: 10Torr / 1Torr
Match: AE 3155094-003A
Heater Lift: 0010-38426
RF Generator: RFG 2000-2V
EPD: 0500-01047
Heater Driver 0190-09419
CH C: DxZ Chamber:
Baratron Guage: 10Torr / 1Torr
Match: AE 3155094-003A
Heater Lift: 0010-38426
RF Generator: RFG 2000-2V
EPD:
Heater Driver: 0190-09419
CH E: Cooldown Chamber:
Type: Multi cooldown
Gas Delivery Options:
Component Selection: standard
Valve: Veriflo
Transducer: MKS
Regulator:
Filter:
Transducer Displays:
MFC Type: STEC 4400
Gas Panel: Pallet A:
Pallet
Gas Line Configuration:
Line 1: Gas NH3
MFC Size: 2 SLM
Line 2: Gas N2
MFC Size: 5 SLM
Line 3: Gas SiH4
MFC Size: 200 SCCM
Line 4: Gas NF3
MFC Size: 1 SLM
Line 5: Gas N2O
MFC Size: 1 SLM
Line 6: Gas CF4
MFC Size: 3 SLM
Line 7: Gas N20
MFC Size: 4V 239.7 SCCM / 2V 119.8SCCM
Line 8: Gas N2
MFC Size: 5 SLM
Line 9: Gas HE
MFC Size: 5SLM
Gas Panel: Pallet B:
Pallet:
Gas Line Configuration:
Line 1: Gas NH3
MFC Size: 2 SLM
Line 2: Gas N2
MFC Size: 5SLM
Line 3: Gas SiH4
MFC Size: 200 SCCM
Line 4: Gas NF3
MFC Size: 1 SLM
Line 5: Gas N2O
MFC Size: 1 SLM
Line 6: Gas CF4
MFC Size: 3 SLM
Line 7: Gas N20
MFC Size: 4V 239.7 SCCM / 2V 119.8SCCM
Line 8: Gas N2
MFC Size: 5 SLM
Line 9: Gas HE
MFC Size: 5SLM
Gas Panel: Pallet C:
Pallet:
Gas Line Configuration
Line 1: Gas NH3
MFC Size: 2 SLM
Line 2: Gas N2
MFC Size: 5SLM
Line 3: Gas SiH4
MFC Size: 200 SCCM
Line 4: Gas NF3
MFC Size: 1 SLM
Line 5: Gas N2O
MFC Size: 1 SLM
Line 6: Gas CF4
MFC Size: 3 SLM
Line 7: Gas N20
MFC Size: 4V 239.7 SCCM / 2V 119.8SCCM
Line 8: Gas N2
MFC Size: 5 SLM
Line 9: Gas HE
MFC Size: 5SLM
Transfer Chamber Options:
Transfer Ch Manual Lid Hoist: yes
Robot Type: Centura HP robot
Robot Blade Option: Ceramic Blade
Remotes:
Heat Exchanger: AMAT 0
1996 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DxZ est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) monobloc conçu pour offrir une qualité de dépôt supérieure et une durée de vie d'outil prolongée. Le système est conçu avec un concept modulaire qui permet aux utilisateurs de personnaliser l'unité en fonction de leurs besoins de production. Il dispose d'une plate-forme de suscepteur rotative avec des stations de centrage et de translation indépendantes pour assurer un positionnement uniforme des plaquettes. Il dispose également d'une machine numérique de contrôle de la température avec un élément chauffant de pulvérisation indépendant pour permettre un traitement thermique uniforme sur l'ensemble de la plaquette. L'outil est équipé d'une tête de douche multiple universelle pour assurer un dépôt uniforme de films uniques avec un débit élevé. La chambre de procédé est très scellée sous vide pour les opérations sans contamination, et un actif de purge est inclus pour réduire davantage la contamination. AMAT Centura DxZ est également équipé d'un modèle de panneau de gaz pour contrôler et surveiller les gaz de processus pour s'assurer que les films sont toujours déposés avec une qualité supérieure. De plus, un mécanisme de décapage automatique est inclus pour le retrait rapide et facile des films lors des réparations, de l'entretien et des mises à niveau. Avec sa conception robuste et ses performances fiables, le réacteur Centura DxZ est un choix idéal pour les applications CVD dans la fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs MEMS.
Il n'y a pas encore de critiques