Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9184346 à vendre en France
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Vendu
ID: 9184346
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
CVD System, 8"
Mainframe information: Phase 2
Robot type: HP
LoadLock type: NBLL
SMIF: X
Process chambers:
Chamber A
Chamber B
Chamber C
Chamber D
Cooldown chamber:
Chamber E: MSCD
Orient chamber:
Chamber F: X
(4) Process chambers
Process: CVD
Application: DXZ
System controller: UPS
Generator:
Chamber A: RFG 2000-2V
Chamber B: RFG 2000-2V
Chamber C: RFG 2000-2V
Chamber D: RFG 2000-2V
Bottom module:
Chamber A: 0090-01805
Chamber B: 0090-01805
Chamber C: 0090-01805
Chamber D: 0090-01805
Heater lift:
Chamber A: 0010-38426
Chamber B: 0010-38426
Chamber C: 0010-38426
Chamber D: 0010-38426
Baratron: Model Torr
Chamber A 626A11TBE 10Torr
Chamber B 626A11TBE 10Torr
Chamber C 626A11TBE 10Torr
Chamber D 626A11TBE 10Torr
Baratron: Model Torr
Chamber A 122BA-00100EBS 100Torr
Chamber B 122BA-00100EBS 100Torr
Chamber C 122BA-00100EBS 100Torr
Chamber D 122BA-00100EBS 100Torr
Gas control : SERIFLEX TYPE
Gas panel:
Chamber A:
LINE1 SiH4 500sccm
UNE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 200sccm
LINE7 H2 5SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3 SIM
SIDE N20 500sccm
Chamber B:
LINE1 X
LINE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 200sccm
LINE7 H2 7SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3 SLM
SIDE N20 500sccm
Chamber C:
LINE1 X
LINE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 300sccm
LINE7 H2 7SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3SLM
SIDE N20 500sccm
Chamber D:
LINE1 N20 3SLM
LINE2 NH3 500sccm
LINE3 N2 5SLM
LINE4 SiH4 300sccm
LINE7 H2 7SLM
LINE8 N20 1SLM
LINE9 CF4 3 SIM
SIDE N20 500sccm
Packing list:
Mainframe
AC Remote rack
Generator rack
(2) Part boxes
Power: 208VAC
1997 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DxZ est un réacteur convenablement conçu et conçu avec des capacités avancées d'ingénierie et de traitement des matériaux. Ce réacteur peut être utilisé pour divers procédés tels que le dépôt, la gravure et le recuit thermique et a été spécialement conçu pour répondre aux besoins d'une variété d'applications. Le réacteur AMAT Centura DxZ a une conception efficace et stable qui est capable d'atteindre un débit et une répétabilité de processus élevés. Cela est obtenu grâce à la combinaison d'une grande stabilité et précision, de composants de haute qualité et durables, et un design de chambre robuste et flexible qui est adapté aux besoins des clients. Cela fait des matériaux appliqués réacteur Centura DxZ un choix préféré pour de nombreuses industries lorsque des résultats de processus élevés sont requis. Le réacteur Centura DxZ est équipé d'une chambre à vide avancée qui permet une cuisson à haute répétabilité et à basse température pour les procédés à haut débit. La chambre peut être configurée pour une variété d'ustensiles spécifiques, allant du revêtement et du masquage à la gravure ou au dépôt. Cette variété de procédés permet une gamme plus large de compositions et de températures de substrat, et permet d'utiliser le réacteur pour une multitude d'applications, éliminant le besoin de réacteurs multiples. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura DxZ est également livré avec un système de contrôle adaptatif automatisé qui fonctionne avec le réacteur pour assurer un maximum de précision, de répétabilité et de débit, tout en réduisant l'intervention de l'utilisateur. Ce système aide également à réduire la ferraille et à améliorer les temps de cycle, tout en fournissant des outils de diagnostic et de contrôle des processus qui permettent l'optimisation des performances à distance et l'optimisation du temps de cycle. Le positionnement de la plaquette sur AMAT Centura DxZ est également facilité grâce au mécanisme de centrage et de serrage automatique, qui permet un positionnement et un alignement précis sans assistance manuelle. En outre, le réacteur est également équipé d'un capteur d'uniformité de température qui permet de contrôler la température en temps réel pendant les processus, assurant une température homogène pendant tout le processus. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DxZ a été conçu pour la flexibilité et la fiabilité, et peut répondre à des exigences de processus exigeantes dans une variété d'applications. Le réacteur est contrôlé avec précision, efficace et durable, ce qui contribue à réduire considérablement les temps de cycle et à augmenter le rendement, tout en réduisant les besoins en réacteurs multiples et en intervention manuelle.
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