Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #293624199 à vendre en France
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ID: 293624199
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Etcher, 12"
EFEM
TM Module
AC Rack
Generator rack
2006 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura eMax CT + est un réacteur à haut débit qui peut fournir des résultats uniformes et reproductibles avec un faible coût de fabrication. Il est conçu pour les performances de dépôt de films à haute température, d'oxydes, de nitrures, de nitrosyle et de polymères. Le réacteur est composé de 2-5 poches de procédé selon la configuration, et est livré avec une source de faisceau ionique focalisé (FIB) et canon e-faisceau pour les procédés secondaires. AMAT Centura eMax CT + est fabriqué avec une source d'effusion thermique avancée. Ceci permet le dépôt très uniforme de films sur de grandes tailles de plaquettes avec une répétabilité exceptionnelle entre plaquettes. L'eMax CT + permet également des pressions de vide et des réglages de température variables, permettant un contrôle précis des taux de dépôt, des épaisseurs et des stoechiométries des films. Ce contrôle de procédé peut être encore optimisé avec le module de procédé universel, qui vient de série avec le réacteur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA E-MAX CT + contient une source FIB à forte puissance, assurant une manipulation précise de la surface du matériau sous le microscope. Avec cette source, le traitement avancé des motifs peut se produire avec un niveau élevé de précision. De plus, le canon à faisceau électronique permet de contrôler à l'échelle nanométrique les processus de film. La technologie de pointe du réacteur peut être utilisée pour traiter rapidement un certain nombre de substrats dans le traitement au niveau de la production. Il est capable de traiter des plaquettes à haut débit avec des résultats uniformes et reproductibles. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT + est conçu pour offrir une qualité de plaquette fiable, une répétabilité et une fiabilité optimales et un faible coût de possession tout au long du processus.
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