Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9293616 à vendre en France
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ID: 9293616
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Oxide etcher, 12"
2007 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura eMax CT + est un système de fabrication de plaquettes utilisé pour graver des plaquettes semi-conductrices à l'aide du dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Le réacteur a une petite conception modulaire, le rendant bien adapté à l'environnement de la salle blanche et est capable de graver tous les types de matériaux. AMAT Centura eMax CT + offre un haut degré de précision et de contrôle, lui permettant de graver avec précision les matériaux jusqu'au niveau atomique. Le système comprend une chambre de dépôt, un module de distribution de réactifs et un bras robot. La chambre de dépôt abrite la plaquette, et le bras du robot est utilisé pour déplacer la plaquette en mouvement continu au fur et à mesure de sa gravure. Le module de délivrance du réactif est celui où les réactifs peuvent être introduits dans la chambre de dépôt. Les réactifs sont généralement des gaz tels que le silane, l'ammoniac et l'acétylène, et la vitesse d'introduction est contrôlée par un régulateur de débit massique (MFC). Le MFC assure que les réactifs sont introduits dans la chambre à un taux sûr et pair, empêchant les réactions indésirables de se produire. La chambre de dépôt abrite également un ensemble d'électrodes spécialement conçu pour conduire des processus CVD améliorés par plasma. Cet ensemble est constitué d'une électrode inférieure qui est reliée au corps du réacteur et d'un jet de plasma de filage vertical chargé de générer le plasma. Le jet de plasma assure la décomposition des réactifs en molécules plus petites puis leur dépôt sur la surface de la plaquette. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA E-MAX CT + est capable de graver rapidement des plaquettes à travers une chambre de gravure horizontale tournante avec un haut degré de précision et de contrôle. La chambre est constituée d'un plateau supérieur et inférieur, et la plaquette est placée entre les deux. Le plateau supérieur est déplacé en mouvement continu car le plateau inférieur est contrôlé indépendamment, ce qui permet d'obtenir le motif de gravure souhaité. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura eMax CT + est capable d'exploiter plusieurs réacteurs en parallèle pour des opérations de production plus importantes. Chaque réacteur est relié à la même alimentation et aux mêmes ressources partagées, ce qui augmente la vitesse et l'efficacité de traitement. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Réacteur E-MAX CT + offre une large gamme de fonctions, lui permettant de graver la plupart des matériaux avec précision et précision. C'est un choix parfait pour la production de plaquettes semi-conductrices de haute performance.
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