Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax #9239957 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura eMax est un réacteur modulaire avancé développé pour faciliter le traitement avancé et fiable des semi-conducteurs à la fréquence ultraviolette extrême (EUV). Contrairement à d'autres réacteurs de production, AMAT Centura eMax dispose de deux chambres complètement indépendantes avec des sources distinctes, fournissant une approche peu coûteuse pour l'optimisation des procédés avec deux fois la puissance. Les sources doubles de 6 kW sont idéales pour les procédés de fabrication nécessitant deux fois le débit tout en conservant une grande précision, tels que le strippage photorésist, le dépôt et la gravure. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura eMax dispose de revêtements anti-réflectifs exclusifs pour produire des motifs précis et un contrôle des caractéristiques, ce qui permet un meilleur contrôle du processus de conception. Le réacteur est également équipé d'un système de pression réglable qui offre un traitement précis pour une gravure rentable des matériaux fragiles. Avec sa capacité à réduire les nano-shorts, Centura eMax a été utilisé pour l'optimisation de la hauteur des ailettes en lithographie EUV avancée. La taille compacte du système offre une utilisation efficace de l'espace, permettant une installation dans des lieux de fabrication serrés. En tant qu'outil optimal pour les processus de production utilisant EUV, il dispose d'une vitesse de balayage rapide et d'un faisceau de haute énergie capable de graver avec précision les couches difficiles à graver. La vitesse de balayage maximale de 500 cm ² par minute permet un réglage rapide du processus et une augmentation du débit en réduisant les temps de cycle. Un contrôleur de processus avancé travaille en tandem avec l'interface homme-machine pour offrir une configuration et un contrôle faciles du réacteur avec des réglages de paramètres rapides. L'interface conviviale permet une plus grande précision dans le contrôle des paramètres de processus tels que les taux de gravure, les taux de dépôt et les profils de film. Particulièrement efficace pour le traitement par lots des EUV, le système offre une répétabilité et une production fiable et à haut rendement. Alliant performances EUV, capacités avancées de contrôle des procédés et faible empreinte, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax est une solution de réacteur de production pionnière pour des procédés semi-conducteurs exigeants. Le design innovant fournit la vitesse, la flexibilité et la précision pour la fabrication à haut volume et l'optimisation des performances.