Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2 #9235111 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA LEVERLER E2 est un réacteur de gravure à sec multi-chambres de nouvelle génération. Il est idéal pour la production rentable de structures de dispositifs avancées et est bien adapté pour les applications MEMS, RF, semi-conducteurs de puissance, et les emballages avancés. AMAT CENTURA FACILITATEUR E2 a une conception modulaire qui peut fournir des capacités de gravure de plasma RF à haut débit, gravure profonde et temps de vol dans un seul équipement compact. Il dispose de deux chambres sources indépendantes et d'une chambre à plasma. Les chambres peuvent être configurées de manière optimale pour traiter différents matériaux et structures. Les chambres sources disposent d'excitation RF avec contrôle de puissance indépendant, permettant une gravure de grande surface des matériaux diélectriques et difficiles à graver. La puissance RF est réglable en 20kHz pas jusqu'à 500W, et peut être appliquée sur une surface de plus de 6 pouces de diamètre. Les chambres sources comprennent également des fonctionnalités de commodité comme la cartographie de l'emplacement des plaquettes et le chargement de plaquettes assistées par rayons gamma pour améliorer le transfert de recettes et le contrôle précis des gravures. La chambre à plasma offre une gravure profonde avec la chimie des gaz réactifs et inertes, permettant une topographie facile et l'optimisation des fonctionnalités. La vitesse de gravure est réglable entre 0,5 et 500nm/min, et la chambre supporte également un contrôle de température du substrat jusqu'à 1000 ° C La chambre comprend en outre à la fois des modes d'excitation inductifs et de résonance électron-cyclotron, ainsi qu'une bobine d'induction avancée pour une répartition optimale du courant spatial. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA ENABLER_E2 comprend une serrure à pompage intégrée avec un système de récupération rapide de la pollution. La serrure maintient un vide ultra-bas entre le chargement des plaquettes pour réduire les temps de chargement et de déchargement. De plus, la serrure de charge comprend une unité de cuisson refroidie active, qui permet de réduire les temps de cuisson sans compromettre la qualité. Dans l'ensemble, AMAT CENTURA ENABLER_E2 est un réacteur de gravure multi-chambres avancé qui permet une variété de processus de production dans une seule machine compacte. Il offre des capacités de gravure haute performance, et est idéal pour la production de MEMS, RF, semi-conducteurs de puissance, et les technologies d'emballage de pointe. La performance fiable et la rentabilité de cet outil en font un choix fiable pour de nombreuses applications.