Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi 300 #293831750 à vendre en France
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ID: 293831750
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2018
System, 12"
Control architecture type: NON-HRTS / ECAT
Chamber pyrometry
High precision
Loader unit type: FI 6.3
Thickness of intrinsic Si ≃16 for wafer/hour: 2.3 µm
No of cassettes / Chambers:
(3) Load Ports
(4) Chambers
(2) Single Wafer Load Lock (SWLL)
Gas boxes:
Dual gas panel H2 leak detector
CSG NPI: Nextgen GP (per Twin)
Panel feed: Bottom
Type: STEC Z700X
VENTURI Purge pump
Regulator
Gas pallet Nextgen:
Special process capability: XFLOW
(2) Independent mixers
2018 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Epi 300 est un réacteur épitaxié phare conçu pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. L'épitaxie, dans le cadre de la fabrication de semi-conducteurs, implique la croissance d'une couche cristalline de matériau semi-conducteur sur le dessus d'un substrat pour créer des structures complexes essentielles à la production de dispositifs électroniques modernes. Le réacteur AMAT Centura Epi 300 est un outil sophistiqué qui offre un contrôle précis du dépôt de films, permettant la production de matériaux de haute qualité avec une homogénéité et une reproductibilité remarquables. Au cœur de MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura Epi 300 est une chambre de traitement de pointe équipée de multiples entrées de gaz, d'un chauffe-eau à haute température et d'un support de substrat capable de recevoir différentes tailles de plaquettes. L'équipement est conçu pour fonctionner dans des conditions de vide ultra-élevé afin d'assurer un environnement propre et contrôlé pour la croissance épitaxiale. La chambre du réacteur dispose de mécanismes avancés de contrôle de la température qui permettent d'ajuster avec précision la température du substrat pendant le processus de dépôt, ce qui est essentiel pour obtenir les propriétés du matériau désiré. Le réacteur Centura Epi 300 utilise une combinaison de techniques de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et d'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) pour faciliter la croissance des couches épitaxiales avec une pureté et une intégrité structurelles exceptionnelles. Le réacteur est équipé d'un système de refoulement de gaz sophistiqué qui permet l'introduction de gaz précurseurs dans la chambre à des débits et compositions précis, essentiels pour contrôler la cinétique de dépôt et les propriétés des matériaux. En outre, l'unité dispose de techniques avancées améliorées par le plasma qui améliorent la qualité du film et favorisent les réactions de surface nécessaires à la croissance épitaxiale. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura Epi 300 offre une grande polyvalence, permettant le dépôt d'une large gamme de matériaux semi-conducteurs, notamment le silicium, l'arséniure de gallium et le phosphure d'indium. La machine supporte des procédés de dépôt de couches épaisses et minces, permettant la fabrication de structures semi-conductrices complexes à compositions multicouches. Le logiciel avancé de contrôle des processus du réacteur fournit aux utilisateurs des interfaces intuitives pour la programmation des recettes de dépôt, la surveillance des paramètres des processus et l'analyse des données de croissance en temps réel. L'un des points forts du réacteur AMAT Centura Epi 300 est son évolutivité et son efficacité de production, ce qui le rend idéal pour les environnements de fabrication de semi-conducteurs à haut volume. L'outil est conçu pour fournir un débit et un rendement élevés, permettant aux fabricants de répondre à des exigences de qualité et de productivité strictes dans l'industrie des semi-conducteurs compétitive d'aujourd'hui. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La conception robuste et les performances fiables du réacteur Centura Epi 300 en font un choix privilégié pour les principaux fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à produire des appareils de pointe avec des fonctionnalités et des performances supérieures. En conclusion, le réacteur épitaxié Centura Epi 300 représente un sommet de la technologie de dépôt épitaxial, offrant une précision, une polyvalence et une efficacité inégalées pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Avec ses caractéristiques avancées, ses capacités de pointe et ses performances exceptionnelles, le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi 300 est un outil essentiel dans la production de dispositifs semi-conducteurs avancés qui alimentent l'industrie électronique moderne.
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