Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9137479 à vendre en France
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Vendu
ID: 9137479
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
CVD Reactors, 8"
Chamber type:
Position A : HTF Nitride
Position B : HTF Nitride
Position F : (CA) Single slot cooldown
Electrical requirements
Line voltage : 480V With transformer
Line frequency : 60 HZ
Line amperage : 600A
System safety:
EMO Switch type : Momentary EMO
EMO Guard ring
HTF NITRIDE EPI
RP Pressure chamber
Thickness control options : BMV
Third manometer : 200 TORR
Leak check port
RGA Port and valve
HTF NITRIDE EPI :
RP Pressure Chamber Selected Option
Thickness Control Options BMV
Third Manometer 200 TORR
Gas Line Isolation
Leak check port
RGA Port and Valve
Gas Delivery Options:
Epi Gas Delivery Options:
Gas Panel Type Surface Mount Gas Panel
Gas Panel Exhaust CHAMBER B SIDE
MFC : AREA,UNIT,STEC,ETC
Filter Milipore
Pump Purge
CH A Gas Options
CH A ATM Pressure
CH A H2
CH A N2
CH A SIH4
CH A SIH4
CH A H2
CH A NF3
CH B Gas Options:
CH B ATM Pressure
CH A H2
CH A N2
CH A SIH4
CH A SIH4
CH A H2
CH A NF3
Mainframe
Loadlock
Loadlock Type : Wide body
Cassette Platform Type : Universal
Common Chamber Options :
Variable Speed Blower
SWmonitor Quartz Pyrometer Kit 2
Lamps Type USHIO BNA6
Susceptors STANDARD NCP
Brands XYCARB
Lift Pin Type HOLLOW SILICON CARBIDE
Susceptor Support Shaft NCP SUSCEPTOR SUPPORT SHAFT
Tips SILICON CARBIDE REMOVABLE TIPS
Exhaust Inserts Quartz
Transfer Chamber
Wafer Sensing : OTF
Transfer chamber Lid Hoist :
Robot :HP ENP
Transfer Chamber Purge 15 SLM
Diagnostics and Control :
SecsTrac
Remotes :
System controller :
Controller Plexiglass Cover
Flash Memory Drive : SCSI
Vacuum pumps :
Loadlock chamber pump : Edwards QDP40
Process chamber pump : Edwards QDP80
System Monitors:
Monitor Type : CRT
(1) Monitor
Wall
(1) Table mount
Cable Lengths (Effective) :
Controller to Mainframe : 23 ft
Controller to Pump : 48 ft
Controller To TTW Monitor : 50 ft
Controller to table Mount Monitor : 24 ft
1995 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Epi est un équipement multi-zones de pointe pour le dépôt de couches épitaxiales. Ce réacteur utilise une conception très efficace, grâce à son injecteur très optimisé, même les zones de chauffage, et le faible coefficient de température de performance. AMAT Centura Epi dispose d'un injecteur multi-zones avancé, qui permet d'assurer l'uniformité des couches épaisses en utilisant un procédé contrôlé par diffusion. Cet injecteur présente un débit élevé et un coefficient de performance de température faible, ce qui le rend très efficace dans ses opérations. Le réacteur comporte des zones de chauffage avec un traitement thermique avancé, ce qui contribue à assurer un chauffage régulier du substrat. Cela permet d'uniformiser les couches thermiques, ce qui contribue à maintenir les plus hauts rendements de couches épitaxiales pendant le processus de dépôt. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Epi est conçu pour être très fiable en incorporant une pompe à vide et un système de soufflante à gaz. Ces systèmes aident à contrôler la pression de vide, ainsi qu'à fournir un flux régulier de gaz. Cela garantit un environnement stable et cohérent pour le processus de dépôt. L'unité comprend également plusieurs systèmes de surveillance et de contrôle, tels que le débit, la pression et les régulateurs de température. Ces systèmes aident à maintenir la cohérence des paramètres du processus, assurant un dépôt fiable et de haute qualité des couches épitaxiales. Centura Epi comprend une interface numérique pour la collecte automatisée des données, qui aide à saisir et à analyser les données du processus de dépôt. Ces données peuvent être utilisées pour ajuster les paramètres de la machine, contribuant ainsi à optimiser les résultats du processus de dépôt. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Epi est un outil performant conçu pour permettre le dépôt de couches épitaxiales uniformes. Ce réacteur présente une conception très efficace, grâce à son injecteur multi-zones, même des zones de chauffage, et un faible coefficient de température de performance. En outre, il comporte une gamme de systèmes de surveillance et de contrôle, ce qui contribue à assurer l'uniformité, la fiabilité et la qualité du processus de dépôt.
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