Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9153809 à vendre en France
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Vendu
ID: 9153809
System
(3) Chambers
Standard gas cabinet
Available:
UHP Gas cabinet
AccuSETT Control and nanovalves.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Epi est un réacteur épitaxié à haut rendement et à faible coût conçu pour les dispositifs semi-conducteurs avancés. Il utilise une technologie diélectrique de pointe d'électropolissage pour fournir à l'utilisateur des solutions rentables pour la production de dispositifs ultra-haute fréquence et de puissance. AMAT Centura Epi peut être utilisé à la fois pour les procédés de dépôt épitaxial de GaAs et de silicium, ainsi que pour les procédés de dépôt d'oxyde et de recuit de diffusion. Il a un design de suscepteur fendu, avec un anneau fendu et une table pivotante, ainsi que plusieurs ports d'entrée et de sortie de gaz. Cela permet le fonctionnement indépendant de multiples procédés, avec une option d'enrichissement en oxygène pour effectuer l'oxydation de la tranche à la tranche. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Epi est conçu pour une productivité maximale, avec une capacité diélectrique à grande vitesse et des têtes de magnétron double pour le dépôt efficace de structures stratifiées. Il comporte un ensemble obturateur haute résolution qui permet un contrôle précis des paramètres de dépôt. Il dispose également d'électrodes refroidies à l'air et à l'eau, ainsi que d'une large gamme de composants de chambre et de bobine pour répondre aux besoins du processus. Le réacteur Centura Epi est un système très stable, avec une vitesse de chauffage basse fréquence pour assurer une épaisseur de film uniforme. Sa conception compacte lui permet de s'intégrer dans des espaces serrés, tandis que la commande sous vide avancée offre des conditions de processus optimisées. Le réacteur dispose également d'un contrôle de température précis avec un détecteur de température de haute précision. Le système est stable sur les opérations à long terme et est capable de fonctionner dans un large éventail de conditions de traitement. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura Epi est également capable de récupérer et de déposer in situ des structures complexes pour des résultats extrêmement précis. Il est conçu pour fournir une excellente performance du produit et la fiabilité environnementale, ce qui en fait un choix idéal pour la production avancée de dispositifs semi-conducteurs. Le système est conçu pour un contrôle précis des paramètres critiques et offre des performances inégalées pour les processus semi-conducteurs les plus avancés.
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