Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9215491 à vendre en France

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ID: 9215491
Taille de la plaquette: 12"
System, 12" Atmospheric 2-chamber frame (1) Chamber only Power rack Gas panel Missing parts: (1) Chamber Upper and lower lamp module MF robot and controller.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura Epi est un réacteur vertical utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. C'est un système de dépôt qui est utilisé pour réaliser des films minces sur les plaquettes de silicium utilisées dans la réalisation de puces semi-conductrices. Le réacteur Epi se compose de trois composants principaux : la chambre principale, le support principal et la chambre secondaire. La chambre principale est construite en acier inoxydable et se compose de deux sections principales : la section supérieure où sont placées les plaquettes, et la section inférieure qui abrite les supports de plaquettes. Le support principal est un système de deux carrousels qui parcourent le périmètre de la chambre principale. Ce système permet le dépôt de couches multiples sur les plaquettes au fur et à mesure de leur déplacement dans la chambre. La chambre secondaire est équipée de plaquettes factices servant à assurer l'uniformité du dépôt du matériau déposé. Le réacteur Epi fonctionne en créant un procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Ce procédé implique le positionnement d'un gaz avec un précurseur chimique, tel que des gaz dopants au silicium ou organiques, à l'intérieur du réacteur. Le gaz est ensuite chauffé à une température déterminée par le procédé. Le gaz chauffé réagit avec la plaquette en formant un film mince à sa surface. L'épaisseur de ce film dépend de la température du procédé, du temps que la plaquette passe dans le réacteur, et de la composition chimique des gaz utilisés. Le réacteur Epi est un outil fiable pour la production de semi-conducteurs, permettant un dépôt rapide et régulier de couches minces. Sa capacité à haute température permet le dépôt de couches plus complexes, telles que des couches d'empilement de différents matériaux. La capacité à calibrer avec précision la température de dépôt et la capacité à contrôler l'épaisseur de la couche permet des rendements élevés et une grande qualité des couches, ce qui en fait une partie essentielle de la production de semi-conducteurs. Grâce à ses caractéristiques de sécurité haut de gamme et à ses contrôles de maintenance rigoureux, le réacteur Epi reste l'un des réacteurs les plus fiables et les plus efficaces de l'industrie des semi-conducteurs. Sa conception simple et son interface utilisateur simple en font une solution rentable pour une gamme de besoins de production, et sa capacité à haute température lui permet d'être utilisé dans le dépôt de certaines des structures et matériaux de couches les plus avancés.
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