Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9229958 à vendre en France

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ID: 9229958
Style Vintage: 2006
MTSL System Wide body HP Robot (3) EPI Chambers Controller with cables 2006 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura Epi est une machine polyvalente de nouvelle génération de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) pour la croissance épitaxiale de semi-conducteurs à couches minces. L'équipement est optimisé pour fournir une homogénéité optimale, des capacités de haut débit et des processus avancés pour répondre aux applications exigeantes des dispositifs semi-conducteurs. AMAT Centura Epi utilise une architecture à deux zones qui intègre à la fois des processus PECVD et PECVD à gradation bord (EG-PECVD) pour le dépôt de qualité de matériaux semi-conducteurs à couches minces. Le système dispose d'une conception de chambre interactive scindée qui assure un transport de vapeur efficace et le placement de la matière à la surface de la plaquette. Ceci couplé avec le fonctionnement basse pression de la chambre donne des résultats répétables avec des niveaux de contraintes faibles et des non-uniformités minimisées. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Epi est capable de traiter une gamme de matériaux, y compris le silicium, le silicium-germanium et les composés complexes III-V. De plus, le réacteur a la capacité de réaliser des procédés tels que le remplissage de l'entrefer de diodes, l'implantation d'ions et le dépôt d'électrodes. L'unité est conçue pour fournir la haute pureté, l'uniformité et les capacités de processus avancées requises pour les dernières applications de dispositifs semi-conducteurs. Le réacteur Centura Epi est bien adapté à une variété de collaborations entre plusieurs entreprises. Il offre un haut niveau de spécialisation et de flexibilité, permettant à un large éventail d'utilisateurs de construire leurs propres processus uniques pour une production à grande échelle. L'utilisateur a également la capacité de personnaliser entièrement ses paramètres de processus. Enfin, la machine est livrée avec des systèmes avancés de contrôle des processus qui surveillent les performances du processus et assurent une qualité constante du produit. Il offre également une large gamme de diagnostics intégrés, y compris la mesure détaillée du profil en temps réel et la cartographie de la température. Cela aide à rationaliser le processus de production et à faire progresser la productivité.
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