Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9282867 à vendre en France
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AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura Epi est un type de réacteur qui utilise un procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour faire pousser des couches minces et des couches de matériau sur des surfaces de substrat. Le réacteur est principalement utilisé dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique pour le dépôt de couches minces diélectriques et métalliques. Le réacteur est conçu pour des applications à haut débit avec un haut degré de précision et de répétabilité. Le réacteur AMAT Centura Epi est conçu avec un socle électrostatique chauffant à hauteur réglable, permettant d'utiliser une large gamme de tailles et de configurations de substrat. Une installation intégrée pour le chauffage et le refroidissement des substrats est également prévue pour assurer des processus répétables, tandis que l'option de gaz réfrigéré en option assure un contrôle précis de la température dans la chambre. Une autre caractéristique est la chambre de dépôt de pyrex à quartz, qui minimise la contamination des substrats et des couches minces. Le réacteur est également équipé de plusieurs dispositifs de surveillance in situ, dont un capteur de conductance thermique et un moniteur de capacité, pour fournir des données in situ continues et précises pendant les processus de dépôt. Le moniteur de flux atomique réactif réglable permet d'optimiser les espèces de couches minces non réagies et le système de détection de densité optique permet d'évaluer l'adhérence et l'épaisseur des couches minces. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura Epi offre un haut niveau d'automatisation des procédés avec sa plate-forme intégrée Epicenter. Epicenter est un puissant système intégré de contrôle des processus, qui permet la surveillance à distance du processus de dépôt et le contrôle centralisé des recettes et des paramètres de processus. La plateforme permet également une gestion efficace des recettes, et les diagnostics avancés améliorent la répétabilité et la fiabilité des processus. Centura Epi est un réacteur polyvalent et fiable qui est idéal pour des applications allant de la fabrication de semi-conducteurs et de l'assemblage électronique au dépôt avancé de couches minces. Sa combinaison de précision, d'automatisation et de modularité fait du réacteur un excellent choix pour la production et la recherche à haut volume dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique.
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