Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9142606 à vendre en France
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ID: 9142606
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
HDP-CVD system, 8"
1995 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura HDP (High Density Plasma) est un outil multi-utilisateurs conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il est utilisé dans la production d'une variété de circuits intégrés haute performance, y compris la mémoire avancée et les dispositifs logiques. Le réacteur AMAT Centura HDP est un réacteur à plasma à couplage capacitif (CCP), ce qui signifie qu'il s'appuie sur des champs électriques pour créer et maintenir un plasma sur une pièce. Il est capable de faire fonctionner des gaz de procédé tels que le silane (SiH4), l'azote (N2) et l'argon (Ar) à des pressions comprises entre 0,001 Torr et 0,2 Torr. Cette large gamme de niveaux de pression permet des processus idéaux pour la création de dispositifs avancés qui nécessitent des directives de processus strictes. Le réacteur fonctionne en créant un plasma à l'intérieur d'une chambre qui est ensuite exposée à une plaquette lors de son passage sur le plasma. Le réacteur assure un haut contrôle du volume et de la température du plasma, permettant une gravure et un dépôt sélectifs avec des paramètres précis. Plasmas créés avec des matériaux appliqués Le réacteur Centura HDP est capable de traiter des matériaux à plusieurs niveaux, de l'avant à l'arrière et d'une couche à plusieurs couches. Le réacteur Centura HDP fonctionne avec un équipement de contrôle avancé basé sur un modèle. Ce système permet d'optimiser les recettes de processus grâce à une combinaison de simulations, d'expériences et de suivi de processus en temps réel. Cette unité permet également aux utilisateurs de peaufiner les conditions de fonctionnement et les configurations de la chambre du réacteur, ce qui permet des séquences de processus complexes. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura HDP est conçu pour être utilisé en salle blanche et est fabriqué en matériau résistant aux UV et à la corrosion, ce qui lui permet de fonctionner de manière fiable dans des conditions de haute température et de vide élevé. De plus, la machine est conçue pour réduire l'utilisation de produits chimiques dangereux, réduire les risques de contamination et réduire les coûts. Le réacteur AMAT Centura HDP est un outil idéal pour la production de dispositifs de mémoire et de logique avancés, car il offre un haut degré de contrôle et de flexibilité, ainsi que des performances fiables. Ses capacités multi-utilisateurs et son outil sophistiqué de contrôle des processus en font un outil idéal pour la fabrication de semi-conducteurs, permettant la production de dispositifs haute performance avec des fonctionnalités complexes.
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