Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9233062 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura HDP est un réacteur de gravure à plasma haute densité (HDP) conçu pour la fabrication de semi-conducteurs qui fournit des dispositifs de taille inférieure au régime de dimension critique de 1 µm. L'équipement HDP utilise une chambre de procédé à base d'hydrogène de treize étages pour produire des caractéristiques extrêmement uniformes et de petite taille avec une surgravure minimale, ce qui permet d'améliorer les performances de l'appareil. Le réacteur offre une excellente flexibilité de procédé avec une large gamme d'options de contrôle de recette, ce qui lui permet d'être utilisé pour un large éventail d'applications telles que le photorésistant, la gravure diélectrique haute-k et l'élimination du cuivre. Le système HDP permet une gravure tridimensionnelle sans contrainte des structures, permettant la fabrication de caractéristiques de rapport d'aspect élevé avec une excellente répétabilité. De plus, l'unité est conçue pour réduire les émissions de particules et de sous-produits volatils afin de maintenir un fonctionnement sûr et propre. AMAT Centura HDP utilise deux composants connectés, la machine de gravure multi-chambres Endura et le module de transfert. L'outil Endura se compose d'une série de chambres, permettant le dépôt à plusieurs niveaux, la gravure et des procédés propres sans interrompre la chaîne des étapes du processus. L'actif comprend 13 chambres, dont une chambre de procédé, une tourelle de gravure refroidie, une paroi froide en quartz et un tube de réaction pour le transfert des plaquettes. En utilisant des alimentations RF avancées, les recettes peuvent être précisément contrôlées pour permettre la technologie plasma haute densité. De plus, un modèle Auto Endpoint Detection facilite la surveillance in situ du processus, permettant un débit maximum avec une maintenance minimale. Le module de transfert contient un équipement de transport de plaquettes, permettant le chargement et le déchargement à grande vitesse de plaquettes. Le système dispose également d'un contrôleur de câblage centralisé, d'un verrouillage de sécurité et d'une unité de refroidissement dédiée pour assurer un traitement sûr et fiable des plaquettes. De plus, la machine est équipée d'une station de purge des plaques réfrigérantes, d'une source de gaz frais, d'une interface informatique à distance et de recettes définies par l'utilisateur. En fin de compte, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura HDP est un réacteur de gravure HDP polyvalent et efficace pour le traitement des semi-conducteurs. Ses caractéristiques avancées et son contrôle étroit sur les recettes permettent de produire des dispositifs ultra-petits, ainsi que des émissions réduites pour un environnement de travail sûr et fiable.