Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9249365 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura HDP (High-Density Plasma) est une solution complète de gravure conçue pour fournir des rendements de production élevés à des débits élevés. Ce réacteur avancé est capable de traiter un large éventail de matériaux tels que le III-V, le silicium germanium, les métaux du groupe III-B et leurs nitrures, et d'autres matériaux composés. Il est configuré avec un processus de gravure source-drain optimisé pour réduire le temps d'un cycle de gravure entier. AMAT Centura HDP est équipé d'une alimentation RF DC qui a une fréquence de commutation plus élevée, ainsi que d'une source de plasma MC pour améliorer l'uniformité des gravures. L'alimentation en courant continu permet également d'obtenir une vitesse de gravure plus élevée et une uniformité de traitement. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura HDP est capable d'atteindre un niveau de précision plus élevé avec des cycles de gravure plasma de précision. La configuration d'accord biphasique du MC-Plasma permet de réduire le temps de gravure tout en assurant un haut niveau d'uniformité. Centura HDP dispose d'une source de plasma multi-fréquence qui est conçu pour réguler et stabiliser la densité du plasma afin de produire des résultats de gravure de haute précision. Il offre également un équipement avancé de transport de plaquettes horizontales en boucle fermée qui contribue à assurer une grande uniformité des processus. Sa chambre en quartz en acier inoxydable permet de protéger la surface de la chambre et de maintenir le temps disponible. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura HDP est peu entretenu et très fiable. Son outil de métrologie intégré mesure la micro-rugosité de la ligne de gravure, assurant la gravure la plus précise possible. En outre, le système comprend un certain nombre de recettes de traitement pour donner un contrôle complet sur le processus de gravure. L'unité est également livrée avec une interface de commande basée sur l'interface graphique qui permet une configuration rapide, un fonctionnement simplifié, et un contrôle de valve simplifié pour les changements de paramètres de gravure rapide. Dans l'ensemble, AMAT Centura HDP est un réacteur de gravure avancé qui offre des capacités de traitement supérieures avec sa source de plasma haute densité, sa source de plasma multifréquence, sa machine de transport de plaquettes horizontales en boucle fermée et sa chambre à quartz en acier inoxydable. C'est une solution fiable qui augmente les rendements de production et réduit le temps de tout un cycle de gravure. Il est également livré avec une interface de contrôle complète basée sur l'interface graphique et des recettes de traitement qui permettent un contrôle complet sur le processus.