Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HP PVD #9266424 à vendre en France
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Vendu
ID: 9266424
Style Vintage: 1995
Sputtering system, 6"
Chamber type:
Chamber A: AL
Chamber B: AL
Chamber C: PC-II
Chamber D: TiTiN
Chamber E (Orient / Degas)
Chamber F (Orient / Degas)
Chamber A:
Heater type: 4F
Source type: 11.3"
Body: STD
Adaptor: STD
Manometter: Single 0.1 torr (6274A)
Ion gauge: Nude
Lift cylinder: STD
Basic motorize
Gate vavle: 2P
Cryo pump: EHN-OB8F
Chamber B:
Heater type: 4F
Source type: 11.3"
Body: STD
Adaptor: STD
Manometter: Single 0.1 torr (6274A)
Ion gauge: nude
Lift cylinder: STD
Basic motorize
Gate vavle: 2P
Cryo pump: EHN-OB8F
Chamber D (PVD):
Heater type: 101
Source type: 11.3"
Body: STD
Adaptor: STD
Manometter: Single 0.1 torr (6274A)
Ion gauge: nude
Lift cylinder: STD
Basic motorize
Gate vavle: 3P
Cryo pump: EHN-OB8F
Chamber C (PC-II):
Resonator: STD
Body: Turbo
Basic pedestat
Turbo adaptor: Short
Manometter: Single 0.1 torr (6274A)
LEYBOLD 361C Turbo pump
Match box: 6"
Lift cylinder
Electrical requirements:
Controller type: Centura standard
Electrical interface: Top feed AC cable
Main frame:
Type: Main frame I
System placement: Stand alone
Robot type: HP Robot
Robot blade: NICKEL Coated AI
Loadlock:
Loadlock cassette: Wide body
Index type: With rotation
Cassette handler: Metal
Basic loadlock wafer mapping
Dual stage vent type
Gas delivery:
Filters:
Veriflo 10 Ra Max
Pall
Generator:
Chamber A:
MDX Power: MDX-L12-650
Chamber B:
MDX Power:
MDX-L12M
MDX-L12
Chamber C: LF-10A Generator
CPS-1001S Missing
Chamber D:
MDX Power: MDX-L12
NESLAB-I Heat exchanger
(2) 9600 Compressors
Umbilicals:
MF - AC rack: 300"
Pumps:
System: A30W
PC-II: A07
Includes:
Serial isolator
System reset
Lk Det 5 and 6 / Conv / TC
(3) Lk Det 7 and 8 / Conv / TC
Floppy Disk Drive (FDD)
Hard Disk Drive (HDD)
Chamber A, B, C, D & E: Interface
Mainframe interface
Loadlock interface
Chamber A, B, C & D:
Dl/O 1
Dl/O 2
Chamber E: Dl/O
Synergy SBC
Video
SEI
Chamber A, B, C & D: Al/O
Chamber E/MF: Al/O 2
Mainframe:
Al/O 1
Dl/O 1
Dl/O 2
Dl/O 3
Dl/O 4
Dl/O 5
Dl/O 6
(3) Steppers
OMS
No shutter (Chamber A, B & D)
1995 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur PVD Centura HP (dépôt physique en phase vapeur) est un équipement de dépôt de nouvelle génération conçu pour fournir des capacités avancées de dépôt en couche mince haute performance. Ce système innovant fournit diverses recettes de dépôt à travers de multiples outils et chambres, et est optimisé pour augmenter la flexibilité du processus et l'efficacité de la production. Le réacteur AMAT Centura HP PVD est capable de déposer un large éventail de matériaux, y compris, mais sans s'y limiter, le cuivre, l'aluminium, le nitrure de titane et le tungstène. Il utilise des gaz multiples et sélectibles et des gaz inertes pour contrôler précisément la source de matière, et pour créer l'environnement et la pression parfaits nécessaires pour un dépôt optimal en couches minces. L'accélérateur linéaire Select Source™ (SS) et la source d'énergie Turbo- Pumped™ (TPP) assurent le maintien des pressions réactives et des températures nécessaires au processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'unité PVD Centura HP dispose également d'un module de levage/gravure à température contrôlée avec un four intégré à haute température. Ce module est conçu pour contrôler automatiquement la température autour du substrat pendant le processus de décollage et de gravure, afin de minimiser les effets d'un contact thermique indésirable. Il dispose également d'un balayage thermique rapide afin de profiler avec précision la croissance du film et la profondeur de gravure. Outre ses excellentes capacités PVD, le réacteur PVD Centura HP est conçu pour offrir un temps d'utilisation et une productivité supérieurs. La configuration modulaire de la machine permet un chargement rapide et facile de l'outil, et est livré avec un logiciel puissant et interface utilisateur graphique qui peut être facilement utilisé par les opérateurs de tout niveau de compétence. L'outil est également livré avec une fonction de recette automatisée, qui simplifie le processus de dépôt en économisant du temps et de l'effort aux utilisateurs. Dans l'ensemble, AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur PVD Centura HP est un actif de dépôt avancé qui offre d'excellentes capacités de dépôt en couches minces et une flexibilité de procédé supérieure. Son module de levage/gravure à température contrôlée, son accélérateur linéaire Select Source, sa source d'énergie Turbo-Pompée et sa recette automatisée en font un outil idéal pour le dépôt de couches minces à haute performance.
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