Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HTF #9260258 à vendre en France
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Vendu
ID: 9260258
Style Vintage: 2006
Epitaxial cluster system
(3) Chambers atmospheric: Standard EPI
Logitex wafer handling control
Cooling circuit with digital flow-meters
Door Interlocks
PC Controller
Temperature control: Dual pyrometer
Process gases: TCS, PH3, Porr
External cooling: Water cooled
CE Marked
Power requirements: 480 V, 240.0 Amp, 50 Hz, 3 Phase
2006 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura HTF (High Temperature Four) est un type de réacteur de traitement thermique hors-vide qui est utilisé dans le processus de fabrication et de fabrication de puces semi-conductrices et de circuits intégrés. Conçu pour fonctionner à des températures allant de 500 à 1200 degrés Celsius, le four est capable d'applications avancées de traitement thermique telles que l'oxydation, la nitridation, le recuit thermique rapide (RTP), la diffusion thermique, et d'autres procédures à haute température. AMAT Centura HTF est composé d'une chambre de four à quatre zones, montée horizontalement, qui est construite en téflon à fente ou en alliage à haute température. Cette chambre est chauffée par des bobines d'induction à dissymétrie RF refroidies à l'eau, et peut être équipée de buses de gaz pour l'introduction de gaz de procédé inertes ou réactifs (tels que l'azote et l'oxygène) soit séparément, soit en combinaison à proximité de la surface des puces. La température de la chambre du four peut être contrôlée et ajustée avec précision en utilisant le contrôleur de processus avancé, qui offre également un support pour les techniques spécialisées de support de substrat. Le contrôleur se connecte directement au matériel Centura, permettant aux ingénieurs de processus d'ajuster et de contrôler divers paramètres, y compris la température, le temps de séjour et les débits de gaz afin d'obtenir les résultats souhaités. MATÉRIAUX APPLIQUÉS CENTURA HTF est conçu avec la sécurité en tête, fournissant une sécurité efficace et la protection de l'environnement. La chambre est équipée d'un système de contrôle d'explosion et est conforme aux normes OSHA et NFPA, tandis que le système de refroidissement est convenablement protégé contre les transferts soudains de processus. D'autres mesures de sécurité, telles qu'un interrupteur d'arrêt d'urgence et un interrupteur de circuit de panne au sol, sont également disponibles. AMAT CENTURA HTF est une solution rentable pour les besoins de traitement thermique et offre une excellente qualité, répétabilité et reproductibilité tout en obtenant les résultats souhaités. De ce fait, il est devenu un composant essentiel de la fabrication de puces semi-conductrices et de circuits intégrés.
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