Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura I DPS+ #9093402 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura I DPS + est un réacteur PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) très efficace et basé sur une équipe qui est conçu pour répondre aux exigences de traitement des rapports d'aspect ultra-élevés. Utilisant une plate-forme de 400mm et un design multi-stations, le DPS + permet d'intégrer jusqu'à cinq outils par plate-forme et est idéal pour l'intégration hybride de plusieurs zones de film. Au cœur du DPS + se trouve la technologie de traitement AMAT Centura I HD PECVD de classe mondiale. Il est conçu pour offrir une homogénéité, une répétabilité et des taux de dépôt supérieurs. La conception flexible de l'équipement permet d'intégrer jusqu'à cinq outils dans une plate-forme unique avec des options pour intégrer les dernières technologies de traitement des alliages. Cette capacité multi-stations est idéale pour des applications telles que MEMS (systèmes microélectromécaniques) ou FEOL (front-end-of-line) développement qui nécessite différentes couches de dépôt sur différentes plaquettes. Le système comprend également un ensemble réactif unique, qui permet de manipuler facilement les mélanges réactifs. Cela permet à l'utilisateur d'ajuster des paramètres de dépôt tels que la vitesse, la conformalité et le débit. En outre, la machine est conçue pour simplifier la manipulation des plaquettes et améliorer la productivité en utilisant des cassettes de plaquettes fractionnées pour le rechargement rapide des plaquettes successives. L'outil dispose également d'un suivi des processus en temps réel, avec des systèmes de rétroaction complets qui fournissent des informations détaillées sur les conditions des processus, permettant à l'utilisateur d'ajuster les paramètres au besoin. En outre, il est équipé d'une infrastructure informatique sophistiquée et conviviale qui facilite l'intégration des données et des fichiers dans l'actif. Cela augmente la productivité du modèle et contribue à assurer une qualité constante du produit. Dans l'ensemble, AMAT Centura I DPS + est un équipement PECVD très efficace et polyvalent qui est conçu pour répondre aux besoins de diverses applications avancées de dépôt. Avec ses nombreuses capacités, sa capacité à cibler plusieurs piles de films et son débit élevé, le DPS + est le réacteur idéal pour des applications telles que le traitement MEMS et FEOL.