Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura I P1 #9133087 à vendre en France
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ID: 9133087
WxZ system, 6"
Chamber Type/ Location
Position A WXZ
Position B WXZ
Position C WxP
Position D WxP
Position E MULTE COOLDOWN
Position F ORIENTER
Electrical Requirements
Line Voltage 200/208 VAC
Line Frequency 50~60 Hz
System Safety Equipment
EMO Guard Ring INCLUDED
Water and Smoke Detector ALARM
System Labels ENGLISH with Chinese simplified
Wxz Chamber Options
Bias Generator STANDARD ENI 12B3
Slit Valve Oring STANDARD
Throttle Valve STANDARD THROTTLE
Wxz Chamber Options
Bias Generator STANDARD ENI 12B3
Slit Valve Oring STANDARD
Throttle Valve STANDARD THROTTLE
Wxz Chamber Options
Bias Generator STANDARD ENI 12B3
Slit Valve Oring STANDARD
Throttle Valve STANDARD THROTTLE
Wxz Chamber Options
Bias Generator STANDARD ENI 12B3
Slit Valve Oring STANDARD
Throttle Valve STANDARD THROTTLE
Orienter Chamber Options
Chamber Type MULTE COOL DOWN
Pallet Options
General Mainframe Options
Facilities Type REGULATED
Facilities Orientation MAINFRAME FACILITIES BOTTOM CONNECTION
Weight Dispersion Plates Mainframe And Remote
Chamber Flow Switch Options
Loadlock/Cassette Options
Loadlock Type Narrow Body AUTO ROTATION
Loadlock Platform UNIVERSAL
Cassette Type Supported 200 mm
Loadlock Cover Finish ANTI-STATIC PAINTED
Loadlock Slit Valve Oring Type VITON
Wafer Mapping ENHANCED
Integrated Cassette Sensor YES
Transfer Chamber Options
Transfer Ch Manual Lid Hoist YES
Robot Type HP
Robot Blade Option ROUGHENED AL BLADE
Wafer On Blade Detector BASIC
Loadlock Vent BOTTOM VENT
System Controller
Controller Type
Cntrlr Electrical Interface BOTTOM FEED
Controller Exhaust TOP EXHAUST
System Monitors
System Monitor 1 STANDALONE
Monitor Cursor BLINKING CURSOR
AC Rack
Controller Facility Interface REMOTE UPS INTERFACE ONLY
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura I P1 est un outil à grappe monobloc pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour créer un procédé unique d'isolation des tranchées peu profondes (STI) à basse température afin de réduire la contrainte du dispositif due au polissage, à la gravure et au traitement sous vide. Ce réacteur supporte à la fois des processus de polissage à bas k et diélectrique, permettant des structures de dispositifs avec une capacité d'échelle accrue et des performances améliorées. Il dispose également d'un mécanisme avancé de transfert de plaquettes pour améliorer la précision et la répétabilité des étapes de processus pendant la fabrication. Le réacteur AMAT Centura I P1 est un outil de grappe d'oxyde chimique thermique (TCO) conçu pour fournir une solution STI haute performance tout en atténuant les risques environnementaux et de fabrication. Au cœur de l'outil se trouve un Ultrashower DEIONIZED WATER (DI), qui assure un profil de température précis et répétable des plaquettes lors du traitement. L'outil exécute un flux de DI et un ensemble spécifique de précurseurs gazeux pour former des tranchées ou des fosses isolées dans la plaquette. Le résultat est un processus STI vraiment uniforme à l'échelle de la plaquette qui réduit les niveaux de contraintes du dispositif et augmente les performances. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura I P1 est également équipé d'un détecteur de point d'extrémité à basse température (LTEP) qui mesure avec précision le point d'extrémité du procédé. Le PETL maintient une uniformité prédéterminée pour le processus de STI qui donne des résultats propres, reproductibles et uniformes. L'outil offre également une capacité de polissage faible qui réduit la capacité parasite entre les noeuds de transistor adjacents. Il s'agit d'un processus clé pour les structures d'appareils qui ont besoin de plus d'échelle et de performances améliorées. L'outil est également équipé d'un mécanisme avancé de transfert de plaquettes qui facilite le chargement et le déchargement des plaquettes. Il offre un alignement vertical des plaquettes pour un suivi plus précis des bords des plaquettes au cours du processus, améliorant ainsi la répétabilité de la plaquette sur le substrat. Le réacteur Centura I P1 est idéal pour ceux qui ont besoin d'applications de procédé STI à faible coût et à haute performance. Grâce à ses capacités de polissage et de transfert de plaquettes à faible intensité, il s'agit d'un outil économique et fiable pour ceux qui ont besoin de résultats de STI constants, reproductibles et uniformes.
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