Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II 5200 #293819421 à vendre en France
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ID: 293819421
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2019
Metal etchers, 8"
(2) Dual wide body chambers, DPS / DTM
Usage: ~50,000 wafers run
APEX 5513 RF Generator
MKS GHW12A RF Unit
Gas set: CF₄, O₂, CHF₃, N₂, SF₆, Ar, HBr, Cl₂, C₄F₈
EBARA Pump
SBC
2019 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura II 5200 est un outil de procédé de dépôt physique en phase vapeur (PVD) utilisé pour créer des dispositifs semi-conducteurs ultra-minces. Il s'agit d'un outil industriel de pointe conçu pour contribuer à la production en grand volume de transistors, de mémoires et de circuits intégrés qui nécessitent des performances plus strictes que d'autres systèmes PVD standard. AMAT Centura II 5200 dispose d'une chambre à vide haute parallèle avec un robot chargé à l'arrière pour faciliter le transport des plaquettes. Ce robot peut contenir une plaquette de 200mm ou deux plaquettes plus petites à la fois, ce qui permet au système de gérer une production à haut volume. L'outil est livré avec des pompes à vide, comprenant un système de pompage turbomoléculaire et une combinaison de pompes de diffusion/défilement. Il est également équipé d'une source MultiHead, fournissant jusqu'à quatre sources sur une piste planétaire qui couvre jusqu'à 270 degrés autour de la plaquette en une seule révolution. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura II 5200 est capable de fonctionner dans diverses configurations de chambres, matériaux, gaz et conditions de pression. Il dispose d'un contrôle automatique de la pression et d'un obturateur de haute précision qui peut assurer un dépôt d'épaisseur de film cohérent et reproductible dans diverses applications de grille. En outre, il garantit une finition de surface lisse avec son contrôle avancé de collimation et de rotation. L'outil offre également un logiciel de surveillance web avancé, un traçage automatisé des plaquettes et un état de l'outil pour assurer une couverture cinématographique uniforme. Dans l'ensemble, le Centura II 5200 est un système PVD de pointe conçu pour répondre aux exigences de qualité et de rendement. Il est capable de manipuler des processus de dépôt délicats et de créer des dispositifs semi-conducteurs ultra-minces. Avec une gamme de caractéristiques et des performances avancées, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II 5200 permet aux utilisateurs d'atteindre les meilleurs rendements de production.
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