Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS #9182836 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura II DPS est une chambre d'épitaxie à pression variable (VPE) conçue pour déposer des matériaux III-V tels que le phosphure d'indium (InP) et ses alliages. Il dispose d'une source « chaud-neutre-froid » avec une plage de température de 70 ° C à 3000 ° C, ce qui le rend adapté aux techniques de dépôt à haute température et à basse température. Le réacteur dispose également d'un équipement avancé d'échange automatique de plaquettes, rendant le chargement de plaquettes et le déchargement d'une brise. Avec une taille maximale de susceptor de 200mm, il peut être utilisé pour déposer des structures complexes avec une large gamme de motifs. La chambre elle-même est 21 "x26" x25 "et a une pression maximale de fonctionnement de 3 Torr. Il comprend également un générateur de plasma pour le dépôt de nitrure jusqu'à 100W. Un système de mélange de gaz avancé permet un contrôle précis de la consommation de gaz, permettant un contrôle très précis des concentrations de dopants matériels. L'unité dispose d'une interface utilisateur intuitive qui permet un paramétrage facile, et un ordinateur de bord avec un écran tactile pour visualiser les conditions actuelles et enregistrer les recettes. Pour le dépôt, le réacteur DPS AMAT Centura II peut utiliser soit une machine de refoulement de liquide, soit une machine de refoulement de vapeur. L'outil de distribution de liquide utilise un actif de dosage et un régulateur de température pour contrôler avec précision le débit des matériaux. Le modèle de distribution de vapeur comprend des conduites de distribution chauffées et des pompes qui maintiennent les matériaux à la température désirée. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura II DPS dispose également de systèmes de sécurité avancés, y compris un équipement à libération rapide pour évacuer la chambre avant les pointes de pression accidentelles et un système intégré de suppression d'incendie. Avec sa combinaison de systèmes avancés, le réacteur DPS Centura II est un excellent choix pour des tâches de dépôt complexes.