Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS+ #9212833 à vendre en France
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Vendu
ID: 9212833
Taille de la plaquette: 8"
Metal etcher, 8"
Loadlock: Wide
Robot: VHP+
Position A: Metal DPS+
Position B: Metal DPS+
Position C: ASP+
Position D: ASP+
Position E: Fast cooldown
Position F: Orienter
Chamber A / B:
Process application: DPS+
Upper chamber body anodizing
Electrostatic chuck type: Polymide
SEIKO SEIKI STPH 1303C Turbo pump
DTCU: E-EDTU
Endpoint type: Monochromator
Bias generator: OEM 12B (-08)
Bias match: 0010-36408
Source generator: ENI GMW-25A, 2500W
Throttle valve & gate valve: VAT TGV
Chamber C / D:
Process kit: Chuck
Auto tuner: Smart match 3750-01106
Magnetron head: 0190-09769
Generator: ASTEX AX2115
Process control: Manometer
Gas box:
VDS Type: 750 SCCM
IHC Module: MKS 649
Transfer chamber options
Transfer chamber manual lid hoist
Robot type: VHP+
Cable: Umbrical
Length: 55 Ft.
MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura II DPS + est un réacteur à semi-conducteur automatisé de pointe conçu pour offrir un meilleur contrôle et une plus grande précision par rapport aux modèles antérieurs. Ce réacteur à grande vitesse a été conçu pour graver avec précision et rapidité les plaquettes, y compris les circuits nanochannelés et les structures, ainsi que pour effectuer des opérations rapides de dépôt et de soulèvement des pulvérisateurs. Le réacteur est équipé d'un étage de balayage numérique, d'un équipement de contrôle à microprocesseur bien conçu et d'un système de distribution de gaz à deux étages qui permettent un débit et un dépôt atomisés très précis de produits en couches minces. Avec un module de polarisation RF à trois régions, Centura II DPS + est conçu pour offrir aux utilisateurs une uniformité de pointe dans les opérations de gravure, de pulvérisation et de dépôt. Cette homogénéité exceptionnelle permet des économies de temps et de coûts importantes ainsi que des spécifications de produit optimales. Avec une unité de livraison et de pompe chimique intégrée, APPLIED MATERIALS Centura II DPS + permet aux utilisateurs de contrôler avec précision la consommation de gaz pour l'optimisation des procédés. L'étape de numérisation de Centura II DPS + fournit un environnement de traitement des plaquettes haute vitesse, automatisé et reproductible, avec des outils d'intégration des données et de suivi des produits à jour. En outre, la machine a récemment été développée pour permettre un balayage vectoriel radial, augmentant le débit tout en améliorant les conditions de forme des plaquettes. L'outil de contrôle à microprocesseur de MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura II DPS + fournit aux utilisateurs une variété de capacités puissantes telles que le contrôle automatisé de la température, le contrôle de la vitesse de balayage, l'ordonnancement des programmes, ainsi que l'intégration des commandes. En outre, l'actif offre aux utilisateurs une variété de fonctionnalités personnalisables telles que les niveaux de concentration de gaz réglables, la recette de processus de réglage fin, et l'optimisation efficace du temps de cycle. La conception mécanique très avancée de Centura II DPS + garantit un fonctionnement précis et durable car le modèle offre une très faible excitation vibrationnelle, ainsi qu'une faible fuite électrique. En outre, les produits de ce réacteur ont une durée de vie prolongée grâce à son équipement de confinement blindé au gaz inerte et à sa technologie de circuit d'azote. Grâce aux caractéristiques supérieures des MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura II DPS +, les utilisateurs de ce système peuvent bénéficier d'une précision et d'une précision exceptionnelles à chaque exécution, et optimiser leurs processus de production sans sacrifier la qualité ou l'efficacité.
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