Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS #9402435 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS est un équipement de dépôt en couches minces à haut volume conçu pour des applications avancées de R-D et de production. Le système a été conçu pour fournir une méthode rapide et fiable de croissance de couches minces, et est adapté à de multiples applications dans les processus de fabrication de circuits intégrés de silicium, tels que la gravure par pulvérisation, le dépôt de diélectriques, et d'autres étapes avancées du procédé. L'unité comprend deux modules : le module de dépôt en couches minces, qui assure un contrôle précis de la vitesse de dépôt dans une seule chambre, et le module de pulvérisation, qui assure un contrôle optimal des procédés de pulvérisation. Tous deux sont alimentés par une combinaison de source de plasma à courant continu (DC) et de source de plasma à radiofréquence (RF). Le module de dépôt en couches minces utilise la puissance RF pour générer des films de plasma et de dépôt sur le substrat. Le procédé peut être utilisé pour déposer des films jusqu'à une épaisseur de 50nm, avec une excellente répétabilité. Les sources DC et RF peuvent être utilisées en combinaison pour contrôler le flux de matière à travers la chambre de dépôt. La chambre comprend un mandrin à vide à température contrôlée et une machine de transport à mouvement contrôlé. La commande de mouvement permet de contrôler avec précision la vitesse de dépôt et d'assurer l'uniformité des films. L'outil de transport offre également un moyen rapide et facile de déplacer les substrats d'une chambre à l'autre sans intervention manuelle, ce qui réduit les temps de cycle. Le module de pulvérisation utilise du gaz d'argon pour générer une source d'ions pour la gravure et pour la pulvérisation de films sur des substrats. L'actif a la capacité de traiter des substrats jusqu'à 10 pouces de diamètre et utilise la puissance continue réglable pour contrôler la vitesse de gravure. Le module de pulvérisation est conçu pour assurer l'uniformité et la reproductibilité, tout en assurant un haut degré de contrôle sur la qualité des films. AMAT Centura II DPS est une solution de production de haute technologie qui offre des résultats fiables et cohérents. Le modèle a été conçu pour assurer un dépôt rapide et précis des couches minces, tout en permettant à l'utilisateur d'ajuster les paramètres pour obtenir les résultats souhaités. La combinaison des sources DC et RF et le haut niveau de contrôle assurent la répétabilité et l'uniformité des films.